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公开(公告)号：CN103240561A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310155619.5
申请日：2013-04-28
Applicant: 南京工业大学
IPC: B23K37/047 , B23K37/00 , H01L21/683
CPC classification number: H01L2224/45144 , H01L2224/78 , H01L2924/00014 , H01L2224/48 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明公开了一种用于连接气体传感器气敏芯片与管壳的悬空金丝球焊用工作台，包括壳体，壳体内设有中心柱、吸气底座、吸气柱、加热柱、滑块、压块、水平压缩弹簧、竖直压缩弹簧、压盘、压杆、管壳动夹片、管壳静夹片以及静夹片底座；所述吸气底座上设置与外部吸气装置连通的吸气接头，吸气柱下方与吸气底座连通，吸气柱顶部用于放置所述芯片，吸气柱上部外围设有用于加热芯片的芯片加热螺线管；加热柱设置在吸气柱外层，顶部用于放置所述管壳，加热柱上部的外围设有用于加热管壳的管壳加热螺线管；吸气柱顶部高于加热柱顶部。本发明采用吸气固定，实现芯片悬空固定及加热，拆卸及方位调整方便，对芯片的物理伤害小。
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公开(公告)号：CN103240561B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201310155619.5
申请日：2013-04-28
Applicant: 南京工业大学
IPC: B23K37/047 , B23K37/00 , H01L21/683
CPC classification number: H01L2224/45144 , H01L2224/78 , H01L2924/00014 , H01L2224/48 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明公开了一种用于连接气体传感器气敏芯片与管壳的悬空金丝球焊用工作台，包括壳体，壳体内设有中心柱、吸气底座、吸气柱、加热柱、滑块、压块、水平压缩弹簧、竖直压缩弹簧、压盘、压杆、管壳动夹片、管壳静夹片以及静夹片底座；所述吸气底座上设置与外部吸气装置连通的吸气接头，吸气柱下方与吸气底座连通，吸气柱顶部用于放置所述芯片，吸气柱上部外围设有用于加热芯片的芯片加热螺线管；加热柱设置在吸气柱外层，顶部用于放置所述管壳，加热柱上部的外围设有用于加热管壳的管壳加热螺线管；吸气柱顶部高于加热柱顶部。本发明采用吸气固定，实现芯片悬空固定及加热，拆卸及方位调整方便，对芯片的物理伤害小。
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公开(公告)号：CN103789743A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410015993.X
申请日：2014-01-14
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明提供了一种斜角入射沉积系统，包括圆柱状的腔体，腔体的上方设有顶盖，腔体内由下至上依次设有电子束蒸发器、环形液态氮存储装置以及样品操作装置；所述电子束蒸发器由腔体外伸入腔体内，电子束蒸发器位于腔体内的端部上设置蒸发源材料；所述环形液态氮存储装置用于冷却操作装置，环形液态氮存储装置上设有液氮进管和液氮出管，液氮进管和液氮出管分别延伸出顶盖；环形液态氮存储装置中部设有气动快门，用于控制蒸发源材料与样品操作装置之间的通路。本发明两个轴向旋转运动以及沉积高度的调整，形成不同沉积角度，得到了多种形态的微纳米薄膜结构，很好解决了光学和电子刻蚀形成微纳米薄膜费用高、适用材料有限、制作时间较长的缺点。
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公开(公告)号：CN103789743B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201410015993.X
申请日：2014-01-14
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明提供了一种斜角入射沉积系统，包括圆柱状的腔体，腔体的上方设有顶盖，腔体内由下至上依次设有电子束蒸发器、环形液态氮存储装置以及样品操作装置；所述电子束蒸发器由腔体外伸入腔体内，电子束蒸发器位于腔体内的端部上设置蒸发源材料；所述环形液态氮存储装置用于冷却操作装置，环形液态氮存储装置上设有液氮进管和液氮出管，液氮进管和液氮出管分别延伸出顶盖；环形液态氮存储装置中部设有气动快门，用于控制蒸发源材料与样品操作装置之间的通路。本发明两个轴向旋转运动以及沉积高度的调整，形成不同沉积角度，得到了多种形态的微纳米薄膜结构，很好解决了光学和电子刻蚀形成微纳米薄膜费用高、适用材料有限、制作时间较长的缺点。
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