金属氧化物半导体纳米薄膜气体传感器用微加热板

    公开(公告)号:CN102070118A

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN201010518328.4

    申请日:2010-10-26

    Abstract: 本发明公开一种金属氧化物半导体纳米薄膜气体传感器用微加热板,包括硅基底、硅岛、氮化硅截止层、二氧化硅绝热层、叉指信号电极、测温电极、加热电极;所述的硅基底具有通孔结构,硅基底的上表面包括通孔的顶部设有氮化硅截止层,氮化硅截止层上表面设有二氧化硅绝热层,二氧化硅绝热层上表面设有叉指信号电极、测温电极和加热电极组成的电极组,在硅基底通孔的顶部氮化硅截止层的下表面设有硅岛。本发明还公开了上述微加热板的制造工艺。本发明将加热电极、叉指信号电极、测温电极制作于一层,降低了制造复杂度,提高了成品率;在传感器工作区域的下方设计并制造出一个硅岛结构以传导加热电极所产生的热量,使得工作区域得到均匀的温度分布。

    一种气体传感器及其制造工艺

    公开(公告)号:CN102426176B

    公开(公告)日:2013-03-27

    申请号:CN201110366861.8

    申请日:2011-11-18

    Abstract: 本发明公开了一种气体传感器及其制造工艺,气体传感器包括硅基底、二氧化硅绝热截至层、叉指信号电极、测温电极、加热电极;所述的硅基底具有通孔结构,硅基底的上表面包括通孔的顶部设有二氧化硅层,所述的二氧化硅层采用表面工艺加工成悬臂结构。二氧化硅层上表面设有叉指信号电极、测温电极和加热电极组成的电极组,电极组上表面设有二氧化锡层本发明工艺将加热电极、叉指信号电极、测温电极制作于一层,降低了制造复杂度,提高了成品率;将传感器二氧化硅层腐蚀,形成悬臂结构,减小热量的传输通道,使得传感器的功耗更低。

    一种气体传感器测试系统

    公开(公告)号:CN102495110A

    公开(公告)日:2012-06-13

    申请号:CN201110366862.2

    申请日:2011-11-18

    Abstract: 本发明公开了一种气体传感器测试系统,包括配气单元、气敏性测量装置以及测试单元;所述配气单元包括一个空气供给单元、一个以上的待测气体供给单元、将空气与待测气体混匀的气体混合室,所述气体混合室连通气敏性测量装置,用于将配比后的气体通过管道输入气敏性测量装置。所述测试单元包括数据采集器,连接数据采集器的温控仪、尾气分析装置以及计算机;所述数据采集器分别电连接空气供给单元和气敏性测量装置;尾气分析装置通过管道连通所述气敏性测量装置。

    一种基于负流量泵功率阀电流的节能控制方法

    公开(公告)号:CN107882102A

    公开(公告)日:2018-04-06

    申请号:CN201711096270.7

    申请日:2017-11-09

    CPC classification number: E02F9/2221

    Abstract: 本发明公开了一种基于负流量泵功率阀电流的节能控制方法,包括如下步骤:步骤1,当挖掘机正常工作时,采集油门旋钮电压信号;步骤2,处理油门旋钮电压信号,根据油门旋钮电压对应档位关系设定工作档位;步骤3,根据工作档位与负流量泵功率阀电流的一一对应关系,设定起始功率阀电流值;步骤4,通过CAN总线通讯接受发动机扭矩百分比信息,设定扭矩百分比对应的扭矩电流值;步骤5,用起始功率阀电流值减去扭矩百分比对应的电流值作为PID控制的控制目标值SP,进而对功率控制比例阀进行控制,通过实际电流的反馈值PV,达到对功率控制比例阀的精确控制。

    一种起重机吊重姿态调整装置

    公开(公告)号:CN107651564A

    公开(公告)日:2018-02-02

    申请号:CN201711071553.6

    申请日:2017-11-03

    CPC classification number: B66C13/08 B66C13/40

    Abstract: 本发明提供了一种起重机吊重姿态调整装置,包括两块上连接板,所述两块连接板之间设有滑轮轴,滑轮轴上设有吊装在起重机上的滑轮组,所述上连接板下设有旋转装置和倾斜调整装置,旋转装置用于控制旋转,倾斜调整装置用于调整水平度。所述旋转装置包括连接在连接板上的上支座,包括两块上连接板,所述两块连接板之间设有滑轮轴,滑轮轴上设有吊装在起重机上的滑轮组,所述上连接板下设有旋转装置,旋转装置用于控制旋转。本装置吊重安放位置更准确、更节省人工,本装置能够自动控制起重机吊具以及起重过程的旋转、起升、降落,完成起重过程的精准吊装。

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