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公开(公告)号：CN100417744C
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：CN200510037895.7
申请日：2005-02-28
Applicant: 南京大学
Abstract: 锆、铪及与钛复合无水硝酸盐的金属复合无机源，通式如下述：(ZrxTiy)(NO3)4，(HfxTiy)(NO3)4，x+y＝1，0.9≥x≥0.1，0.9≥y≥0.1。其合成方法是：以四氯化钛(TiCl4)，无水四氯化锆(ZrCl4)或四氯化铪(HfCl4)为原料，以四氧化二氮和金属氯化物充分反应，反应时在液氮的冷阱中，并以负压抽去系统中残存的氮氧化物，获得白色粉末状的初产物；然后分离提纯无水锆钛或锆铪硝酸盐，在100℃-120℃升华温度下升华，在-20至0℃“冷指”的容器壁得到白色晶状无水锆钛硝酸盐或无水铪钛硝酸盐。抽去系统中残存的氮氧化物，获得白色粉末状的初产物。
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公开(公告)号：CN1693533A
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：CN200510037895.7
申请日：2005-02-28
Applicant: 南京大学
Abstract: 锆、铪及与钛复合无水硝酸盐的金属复合无机源，通式如下述：(ZrxTiy)(NO3)4，(HfxTiy)(NO3)4，x+y＝1，0.9≥x≥0.1，0.9≥y≥0.1。其合成方法是：以四氯化钛(TiCl4)，无水四氯化锆(ZrCl4)或四氯化铪(HfCl4)为原料，以四氧化二氮和金属氯化物充分反应，反应时在液氮的冷阱中，并以负压抽去系统中残存的氮氧化物，获得白色粉末状的初产物；然后分离提纯无水锆钛或锆铪硝酸盐，在100℃－120℃升华温度下升华，在－20至0℃“冷指”的容器壁得到白色晶状无水锆钛硝酸盐或无水铪钛硝酸盐。抽去系统中残存的氮氧化物，获得白色粉末状的初产物。
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公开(公告)号：CN1560905A
公开(公告)日：2005-01-05
申请号：CN200410014067.7
申请日：2004-02-16
Applicant: 南京大学
IPC: H01L21/283 , H01L21/316 , H01L21/336 , H01L21/8234
Abstract: 引入氧化铝保护层制备稳定的稀土氧化物栅介电薄膜的方法，在半导体衬底材料上沉积稀土氧化物薄膜作为高介电栅介质材料，然后原位沉积氧化铝保护层，稀土氧化物薄膜材料：氧化钇(Y2O3)，氧化镧(La2O3)，和镧系的其它氧化物如Pr2O3、CeO2、Gd2O3、Er2O3。
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公开(公告)号：CN1312738C
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200410014067.7
申请日：2004-02-16
Applicant: 南京大学
IPC: H01L21/283 , H01L21/316 , H01L21/336 , H01L21/8234
Abstract: 引入氧化铝保护层制备稳定的稀土氧化物栅介电薄膜的方法，在半导体衬底材料上沉积稀土氧化物薄膜作为高介电栅介质材料，然后原位沉积氧化铝保护层，稀土氧化物薄膜材料：氧化钇(Y2O3)，氧化镧(La2O3)，和镧系的其他氧化物如Pr2O3、CeO2、Gd2O3、Er2O3。
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公开(公告)号：CN102583533A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110009704.1
申请日：2011-01-18
Applicant: 南京大学
IPC: C01G27/00
Abstract: 本发明公开了一种无水铪锆复合硝酸盐的合成方法及其在ALD方法沉积高介电复合氧化物薄膜中的应用，该合成方法首先是将发烟硝酸和五氧化二磷反应，产生的氮氧化物气体在低温下成为固态五氧化二氮；使固态五氧化二氮逐渐液化，伴随四氧化二氮气体产生；让四氧化二氮和混合金属氯化物充分反应，最后获得白色粉末状的无水铪锆复合硝酸盐初产物；初产物通过升华提纯装置得到白色晶状无水铪锆复合硝酸盐。本发明成功制备了具有良好挥发性且不含碳的无水铪锆复合硝酸盐，并以此单源作为ALD双金属前体，用ALD方法成功沉积了铪锆复合氧化物薄膜，获得了较好的性能。
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