公开(公告)号：CN1312738C

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：CN200410014067.7

申请日：2004-02-16

Applicant: 南京大学

Inventor： 李爱东 ,  邵起越 ,  程进波 ,  吴迪 ,  刘治国 ,  闵乃本

IPC: H01L21/283 ,  H01L21/316 ,  H01L21/336 ,  H01L21/8234

Abstract: 引入氧化铝保护层制备稳定的稀土氧化物栅介电薄膜的方法，在半导体衬底材料上沉积稀土氧化物薄膜作为高介电栅介质材料，然后原位沉积氧化铝保护层，稀土氧化物薄膜材料：氧化钇(Y2O3)，氧化镧(La2O3)，和镧系的其他氧化物如Pr2O3、CeO2、Gd2O3、Er2O3。

公开(公告)号：CN100358626C

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200410041816.5

申请日：2004-08-30

Applicant: 南京大学

Inventor： 李爱东 ,  程进波 ,  吴迪 ,  闵乃本

IPC: B01J23/20 ,  B01J37/03

Abstract: 高比表面的钽酸盐和铌酸盐光催化剂的制备方法，先使用钽或铌的五氧化物为原料，得到水溶性的铌前体或钽的草酸盐水溶液；用上述方法获得稳定的水溶性的钽或铌的前体再用以制备钽酸盐和铌酸盐光催化剂，即制备含碱金属和碱土金属的钽酸盐和铌酸盐，根据配方的组分将碳酸锶、碳酸钡、碳酸锂、或稀土硝酸盐加入水溶性的草酸钽或草酸铌的前体溶液，溶于螯合剂EDTA，再加入柠檬酸，让金属离子与柠檬酸的摩尔比在1.4～10之间，加入适量乙二醇作为络合剂，在60—80℃加热并搅拌，获得钽酸盐和铌酸盐光催化剂的前体溶液，聚酯化、灼烧2—4小时后并在600—900℃热处理，得到钽酸盐和铌酸盐光催化剂。

公开(公告)号：CN1597097A

公开(公告)日：2005-03-23

申请号：CN200410041816.5

申请日：2004-08-30

Applicant: 南京大学

Inventor： 李爱东 ,  程进波 ,  吴迪 ,  闵乃本

IPC: B01J23/20 ,  B01J37/03

Abstract: 高比表面的钽酸盐和铌酸盐光催化剂的制备方法，先使用钽或铌的五氧化物为原料，得到水溶性的铌前体或钽的草酸盐水溶液；用上述方法获得稳定的水溶性的钽或铌的前体再用以制备钽酸盐和铌酸盐光催化剂，即制备含碱金属和碱土金属的钽酸盐和铌酸盐，根据配方的组分将碳酸锶、碳酸钡、碳酸锂、或稀土硝酸盐加入水溶性的草酸钽或草酸铌的前体溶液，溶于螯合剂EDTA，再加入柠檬酸，让金属离子与柠檬酸的摩尔比在1∶4～10之间，加入适量乙二醇作为络合剂，在60－80℃加热并搅拌，获得钽酸盐和铌酸盐光催化剂的前体溶液，聚酯化、灼烧2－4后并在600－900℃热处理，得到钽酸盐和铌酸盐光催化剂。

公开(公告)号：CN1560905A

公开(公告)日：2005-01-05

申请号：CN200410014067.7

申请日：2004-02-16

Applicant: 南京大学

Inventor： 李爱东 ,  邵起越 ,  程进波 ,  吴迪 ,  刘治国 ,  闵乃本

IPC: H01L21/283 ,  H01L21/316 ,  H01L21/336 ,  H01L21/8234

Abstract: 引入氧化铝保护层制备稳定的稀土氧化物栅介电薄膜的方法，在半导体衬底材料上沉积稀土氧化物薄膜作为高介电栅介质材料，然后原位沉积氧化铝保护层，稀土氧化物薄膜材料：氧化钇(Y2O3)，氧化镧(La2O3)，和镧系的其它氧化物如Pr2O3、CeO2、Gd2O3、Er2O3。