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公开(公告)号:CN111490143A
公开(公告)日:2020-08-04
申请号:CN202010309479.2
申请日:2020-04-20
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
Abstract: 本发明提出一种显示背板及其制造方法、微型发光二极管显示器,涉及微型发光二极管领域,所述制造方法包括:S1:形成多个位于背板衬底上阵列排布的键合电极,形成位于键合电极上方的磁流变液层;S2:电磁铁基板上的电磁铁对应贴合在背板衬底的背面,电磁铁位于背板衬底的下方且与键合电极对应设置;S3:控制电磁铁的磁场强度,在对应的磁流变液层上放置微型发光二极管;S4:对微型发光二极管进行光学检测,控制电磁铁的磁场强度对检测到的坏点进行移除,并转移新的微型发光二极管放置至坏点处;S5:微型发光二极管的底部电极与键合电极进行键合,键合完成后移除电磁铁基板。本发明实现显示背板制造过程中对微型发光二极管可选择的转移和修复。
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公开(公告)号:CN111276440A
公开(公告)日:2020-06-12
申请号:CN202010094497.3
申请日:2020-02-16
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L33/48
Abstract: 本发明提出一种微型器件转移头及其制造方法、微型器件的转移方法,涉及微型发光二极管领域,微型器件的转移方法,包括以下步骤:S1:带有梯形凹槽的微型器件转移头与待转移的微型器件所在的暂态基板对位贴合;S2:真空压贴将微型器件压入微型器件转移头的梯形凹槽内;S3:微型器件转移头带走微型器件及其底部的底部电极离开暂态基板;S4:微型器件转移头将微型器件转移至显示背板上,使微型器件底部的底部电极与显示背板键合;S5:移走微型器件转移头。本发明利用弹性材料制备出具有梯形凹槽的微型器件转移头,通过将带转移的微型器件压入微型器件转移头的梯形凹槽内从而实现微型器件的巨量转移。
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公开(公告)号:CN110783252A
公开(公告)日:2020-02-11
申请号:CN201910991678.3
申请日:2019-10-18
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L33/48
Abstract: 本发明提出一种微型器件转移头及其制作方法、微型器件的转移方法,涉及微型发光二极管领域,所述微型器件转移头包括基础衬底、位于基础衬底上且阵列排布的多个高台以及位于每个高台上的金属固化转移层。本发明通过提供一种带有金属固化转移层的微型器件转移头,然后与带有金属固化层的显示背板结合,利用金属的附着力可以轻松实现微型发光二极管的巨量转移。
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公开(公告)号:CN109994417B
公开(公告)日:2019-08-27
申请号:CN201910459863.8
申请日:2019-05-30
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L33/00
Abstract: 本发明提出一种静电转移头及其制作方法,属于Micro LED巨量转移的技术领域,包括基板、图案化的第一金属层和介电层,所述基板包括凹部和凸部,所述介电层包括与所述凹部对应的第一凹洞,所述第一金属层嵌入在基板中。本发明通过在基板或平坦层中嵌入金属,解决现有转移头出现的边缘凸起、匀胶均一性较差、边缘漏电导致吸力不足和工艺良率低的困扰,使巨量转移更好的完成的同时可以转移不同微元件且不受阻碍。
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公开(公告)号:CN109994417A
公开(公告)日:2019-07-09
申请号:CN201910459863.8
申请日:2019-05-30
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L33/00
Abstract: 本发明提出一种静电转移头及其制作方法,属于Micro LED巨量转移的技术领域,包括基板、图案化的第一金属层和介电层,所述基板包括凹部和凸部,所述介电层包括与所述凹部对应的第一凹洞,所述第一金属层嵌入在基板中。本发明通过在基板或平坦层中嵌入金属,解决现有转移头出现的边缘凸起、匀胶均一性较差、边缘漏电导致吸力不足和工艺良率低的困扰,使巨量转移更好的完成的同时可以转移不同微元件且不受阻碍。
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公开(公告)号:CN109802019A
公开(公告)日:2019-05-24
申请号:CN201910306386.1
申请日:2019-04-17
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
Abstract: 本发明提出一种微型LED的转移方法,属于发光显示的技术领域,先形成半刻的LED结构,经过一次转移进行翻转,对去除缓冲层,形成分离的LED阵列,再在LED上形成金属层,此时金属层在LED侧壁处发生断裂,再经过二次粘合,利用转移吸头对LED进行吸取,放置于接收基板对应的金属电极上,经过键合后完成微型LED的转移。本发明改善了激光剥离应力释放导致的膜破问题,并避免了厚的金属层在转移时需要较大吸力进行拉扯的问题。
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公开(公告)号:CN110444648A
公开(公告)日:2019-11-12
申请号:CN201910687499.0
申请日:2019-07-29
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
Abstract: 本发明提出一种微型发光二极管阵列显示背板及其制造方法和修复方法,涉及微型发光二极管的技术领域,所述微型发光二极管阵列显示背板包括:显示背板衬底;位于显示背板衬底上且呈阵列排布的多个凹槽;阵列排布并经过凹槽的多条底部电极;经过凹槽并与底部电极接触的多条微型加热电阻丝;以及位于凹槽内的键合材料和位于键合材料上的微型发光二极管;其中,所述微型加热电阻丝至少部分位于凹槽内、部分位于显示背板衬底上,凹槽内的底部电极位于所述微型加热电阻丝的下方;当微型发光二极管损坏时,微型加热电阻丝对键合材料进行加热熔融后可以转移走损坏的微型发光二极管。
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公开(公告)号:CN109860092A
公开(公告)日:2019-06-07
申请号:CN201910001105.1
申请日:2019-01-02
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L27/15
Abstract: 本发明提供一种微型发光二极管巨量转移方法及微型发光二极管显示器,包括在三种颜色Micro LED阵列上形成金属层,在阵列基板上形成对应的键合金属,采用三种颜色Micro LED阵列和阵列基板金属键合的方式将三种颜色Micro LED分次转移到阵列基板上。本发明通过在三种颜色Micro LED阵列上形成金属层,在阵列基板上形成对应的键合金属,采用三种颜色Micro LED阵列和阵列基板金属键合的方式将三种颜色Micro LED分次转移到阵列基板上,该方法省去了转移头,降低了Micro LED显示器的制造成本,制程简单,可操作性强。
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公开(公告)号:CN111490135A
公开(公告)日:2020-08-04
申请号:CN202010302803.8
申请日:2020-04-17
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
Abstract: 本发明提出一种微型器件的制作方法和显示背板的制作方法,涉及微型发光二极管领域,微型器件的制作方法包括:S1:透明基板刻蚀形成具有多个阵列排布的高台和沟槽的衬底,高台和沟槽交错分布在衬底上;S2:在高台和沟槽上依次形成缓冲层、外延层和金属层,外延层和金属层在高台上构成第一LED,外延层和金属层在沟槽上构成第二LED;S3:激光分两次照射衬底背面,对位于高台和沟槽的衬底上的缓冲层分别进行剥离,剥离后分别用两个底部具有粘附层的暂态基板转移走高台和沟槽上带有缓冲层的LED;S4:刻蚀除去缓冲层,外延层和金属层形成微型器件;S5:解粘暂态基板上的粘附层,分离微型器件和暂态基板。
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公开(公告)号:CN111243976A
公开(公告)日:2020-06-05
申请号:CN202010184258.7
申请日:2020-03-17
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
Abstract: 本发明提出一种检测修补设备和方法,涉及微型发光二极管领域。本发明公开了一种检测修补设备,用于对微型发光二极管显示背板进行亮度检测和修补,所述检测修补设备包括旋转机构、光电探测器、探针装置、转移头装置以及用于连接微型发光二极管显示背板的负极线,其中,旋转平台可绕固定轴进行水平旋转,探针装置和转移头装置可通过第一垂直升降结构和第二垂直升降结构进行垂直升降移动。本发明通过旋转机构将探针装置和转移头装置的位置旋转对调,避免多次对位,可实现对微型发光二极管显示背板修补及再检。
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