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公开(公告)号：CN108649916B
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201810360564.4
申请日：2018-04-20
Applicant: 华南理工大学
IPC: H03H3/02
Abstract: 本发明属于薄膜体声波谐振器的技术领域，公开了一种薄膜体声波谐振器及其背电极的引出方法。所述薄膜体声波谐振器包括衬底，衬底上依次设置有背电极和压电层，衬底的表面设有凹槽，背电极和衬底表面的凹槽形成空气腔，压电层设有通孔，通孔的下方为背电极，通孔一侧的压电层上设有顶电极，通孔的另一侧以及通孔中设有背电极材料。背电极引出方法主要是在压电薄膜上制备通孔，通孔的下方为背电极，通孔一侧的压电薄膜上沉积顶电极，通孔另一侧的压电薄膜上以及通孔中沉积有背电极材料，背电极通过通孔引出。本发明免去了大面积刻蚀压电薄膜，对薄膜损伤较小；通孔引出电极易覆盖；且本发明可减小器件尺寸，降低功耗和提升性能。
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公开(公告)号：CN105897211B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201610329169.0
申请日：2016-05-18
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了多谐振模式的薄膜体声波谐振器，依次包括硅衬底和压电堆叠结构，所述压电堆叠结构与硅衬底之间的空腔形成薄膜体声波谐振器的谐振腔；所述压电堆叠结构由下至上依次包括底电极、两层以上的压电薄膜、顶电极。本发明的薄膜体声波谐振器，具有多个谐振点，可通过级联、桥接等方式设计出多通带滤波器，大大减少无线终端上的FBAR滤波器数量。
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公开(公告)号：CN1442942A
公开(公告)日：2003-09-17
申请号：CN03114232.X
申请日：2003-04-16
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明是一种微机械式电池，它由外壳、原动机构、齿轮增速机构、微型发电机、电容器相互连接组成，其相互连接关系为，原动机构与齿轮增速机构相连接，齿轮增速机构的输出端与微型发电机的转子磁铁相连接，微型发电机的定子线圈两端与电容器相连接，电容器两端引出两条导线延伸到电池外壳，成为电池的正、负极。本发明可作为独立电源用于不同电器，实用性强，与常规化学电池相类似，使用简便，不会造成污染，具有重要的环保意义。
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公开(公告)号：CN109547663A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811069942.X
申请日：2018-09-13
Applicant: 华南理工大学
CPC classification number: H04N1/32272 , H04L9/0863 , H04N1/32144
Abstract: 本发明公开了一种结合密码学的改进LSB图像隐写方法，包括下述步骤：(1)加密过程：输入载体图像和秘密信息，并做加密预处理，获取载体图像块的最低k有效位以及秘密信息阵列块的二进制信息；根据载体图像块对秘密信息阵列块应用密码学加密编码，为每个秘密信息阵列块生成秘钥；将获得的加密信息替换载体图像的最低k有效位，从而输出加密图像，并将加密图像中的秘钥地址作为输出；(2)解密过程：输入加密图像和秘钥地址，并将加密图像分为nxn的像素块；然后利用秘钥对加密图像进行解密操作，最后对解密的信息应用解码算法得到秘密信息。本发明方法相对于传统的方法增大了信息隐藏容量，具有隐蔽性好、鲁棒性佳的优点。
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公开(公告)号：CN108649916A
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810360564.4
申请日：2018-04-20
Applicant: 华南理工大学
IPC: H03H3/02
Abstract: 本发明属于薄膜体声波谐振器的技术领域，公开了一种薄膜体声波谐振器及其背电极的引出方法。所述薄膜体声波谐振器包括衬底，衬底上依次设置有背电极和压电层，衬底的表面设有凹槽，背电极和衬底表面的凹槽形成空气腔，压电层设有通孔，通孔的下方为背电极，通孔一侧的压电层上设有顶电极，通孔的另一侧以及通孔中设有背电极材料。背电极引出方法主要是在压电薄膜上制备通孔，通孔的下方为背电极，通孔一侧的压电薄膜上沉积顶电极，通孔另一侧的压电薄膜上以及通孔中沉积有背电极材料，背电极通过通孔引出。本发明免去了大面积刻蚀压电薄膜，对薄膜损伤较小；通孔引出电极易覆盖；且本发明可减小器件尺寸，降低功耗和提升性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106571832A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201610974241.5
申请日：2016-11-04
Applicant: 华南理工大学
IPC: H03M13/11
CPC classification number: H03M13/1108 , H03M13/1148
Abstract: 本发明公开了一种多进制LDPC码级联神经网络解码方法及装置，所述解码方法包括：多进制LDPC译码初始化；神经网络级联解码。其中多进制LDPC译码首先对各码元符号进行初始化得到后验概率；神经网络将后验概率软信息作为输入信息输入到输入层，经过神经网络的训练和学习，由输出层得到输出软信息并进行判决译码，得到译码结果。本发明在传统多进制LDPC置信传播译码算法的基础上引入神经网络的级联译码方法，降低译码计算量和复杂度，提高译码效率。
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公开(公告)号：CN107425821B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201710743907.0
申请日：2017-08-25
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明属于声波器件材料的技术领域，公开了一种用于声波器件的低应力状态单晶AlN及其制备与应用。所述低应力状态单晶AlN薄膜包括衬底、生长在衬底上的外延AlN单晶薄膜层、沟槽；所述沟槽设在外延AlN单晶薄膜层上，并将外延AlN单晶薄膜层分隔成若干区域，使得AlN薄膜层覆盖部分衬底；所述外延AlN薄膜层上以及沟槽中设有应力补偿层。所述低应力状态单晶AlN薄膜用于声波器件。本发明通过沟槽将单晶AlN薄膜分割成若干独立的区域和引入补偿层，提高了相关声波器件的品质因数和有效机电耦合系数；并且本发明的单晶AlN薄膜中，补偿层起到了温度系数调节作用，使最终器件的功率容量、稳定特性和可靠性都得到了提高。
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公开(公告)号：CN109309483B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN201811179359.4
申请日：2018-10-10
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种支撑型薄膜体声波谐振器的制备方法，包括以下步骤：在(111)面Si衬底上生长金属插入层，并在其上继续通过金属有机物化学气相沉积法生长单晶AlN薄膜，最后在单晶AlN薄膜上沉积金属电极和支撑层。通过薄膜转移、剥离、顶电极刻蚀等过程，最终形成薄膜体声波谐振器的三明治压电堆叠结构。本发明通过引入金属插入层一方面减轻了AlN外延与生长衬底间的失配现象，提高了良品率和器件优值；另一方面在薄膜转移与剥离后可直接刻蚀出顶电极图案，简化制备工序。
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公开(公告)号：CN109309483A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201811179359.4
申请日：2018-10-10
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种支撑型薄膜体声波谐振器的制备方法，包括以下步骤：在(111)面Si衬底上生长金属插入层，并在其上继续通过金属有机物化学气相沉积法生长单晶AlN薄膜，最后在单晶AlN薄膜上沉积金属电极和支撑层。通过薄膜转移、剥离、顶电极刻蚀等过程，最终形成薄膜体声波谐振器的三明治压电堆叠结构。本发明通过引入金属插入层一方面减轻了AlN外延与生长衬底间的失配现象，提高了良品率和器件优值；另一方面在薄膜转移与剥离后可直接刻蚀出顶电极图案，简化制备工序。
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公开(公告)号：CN1602792A
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：CN200410051991.2
申请日：2004-10-29
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明是一种微型无线磁控内部通道定位、在线观测和图像采集装置，包括三部分：壳体部分、接收监视部分和磁控装置。壳体部分含有壳体，壳体内部安置有光学镜头，光学镜头固定在固定板上，在固定板上安置有LED阵列；光学镜头、CMOS图像传感器和控制电路依次连接并组成摄像头，摄像头、LED阵列、无线发射电路相互并联，然后与磁控开关及电源连接，无线发射电路与天线连接；接收监视部分含有无线接收装置和监视器，无线接收装置用于接收由无线发射电路通过天线发送的信号，并且无线接收装置通过数据线与监视器连接；磁控装置用于控制磁控开关的闭合与断开。本发明采用磁控装置能实现定点检查，简单实用，成本低廉，适于在医疗、工业领域普及使用。
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