公开(公告)号：CN118189792A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202410304566.7

申请日：2024-03-18

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 朱本亮 ,  周克强 ,  梁经伦 ,  黎杰荣 ,  张宪民

IPC: G01B7/008 ,  G01B7/02 ,  G01B11/02 ,  G01B11/00

Abstract: 本发明涉及一种三自由度宏微精密定位平台装置及控制方法，其装置包括宏动驱动器、微动驱动器、宏动平台、微动平台和控制装置；宏动驱动器连接于宏动平台，用于驱使宏动平台移动；微动平台设于宏动平台的末端，微动驱动器连接于微动平台，用于驱使微动平台移动；宏动平台设有宏动位置检测装置，用于检测得到宏动平台位置信息；微动平台设有微动位置检测装置，用于检测得到微动平台位置信息。本发明基于宏动平台和微动平台的串联构型，通过宏动位置检测装置和微动位置检测装置的检测结果获取微动平台的末端位移，再与预设位移对比得到所需要的宏动位移量和微动补偿量，并控制宏动平台运动与微动平台运动，实现精密定位运动解耦化，提高定位精度。