-
公开(公告)号：CN105628175B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201610036855.9
申请日：2016-01-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 一种空气主轴振动精密测量装置及其方法，属于超精密加工中振动测量领域，解决现有测量装置存在无法准确地测量高速运动物体的问题和现有测量方法存在测量角度和方向不准确以及缺少准确的数据分析的问题，用于高速旋转空气主轴振动的测量。本发明的精密测量装置，包括隔振平台、支撑框架、主轴固定组件、正X向激光组件、Z向激光组件、Y向激光组件、负X向激光组件、红外线测量组件、下斜方棱镜组件、上斜方棱镜组件、角锥棱镜组件；本发明的测量方法，包括激光束对焦步骤、测量空气主轴跳动量步骤、计算偏心距步骤、计算圆度误差步骤和计算振动量步骤。通过本发明的装置和方法，可以准确地获得空气主轴在尺度100纳米以内的振动。
-
公开(公告)号：CN105490058A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610013836.4
申请日：2016-01-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01R13/40 , H01R13/502
CPC classification number: H01R13/40 , H01R13/502
Abstract: 一种绝缘密封电极组件，属于电气连接部件，用于需要封闭的导电材料腔体，解决现有电极绝缘密封装置存在的体积较大、结构比较复杂、密封效果差且不能承受高温的问题。本发明包括铜棒、上套筒、上端固定螺母、隔离垫圈、内套筒、外套筒、底座密封圈、固定垫圈、下端固定螺母和下套筒，使用时，所述外套筒通过固定垫圈和下端固定螺母连接到设备腔体基座上，使得电极正常导电工作的同时，保证电极和与其连接的设备腔体之间的绝缘性，且可以保证连接部位的密封性，从而保证了设备整体的安全性。
-
公开(公告)号：CN104862670B
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201510226286.X
申请日：2015-05-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/448
Abstract: 一种热丝拉紧装置，属于机械滑动部件与装置，用于有效地防止热丝因加热而产生的伸长下垂。本发明包括盒体、滑轨，滑动板、支撑板、上端盖、左端盖、中间连接板、左端连接板、钼棒螺杆，滑轨、滑动板以及固定在滑动板上方的支撑板共同构成了滑动系统；使用时，所述左端盖通过螺栓与热丝沉积系统的腔体外壁连接，左端盖的左侧面朝向热丝沉积系统内腔。本发明利用简单的弹簧、滑道等机械部件以及铜片的温度特性，简单有效的实现了HFCVD系统中热丝在加热过程中自动拉紧的目的，不仅保证衬底材料附近温度场的稳定，而且提高了热丝的寿命。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107400875B
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201710565466.X
申请日：2017-07-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于化学气相沉积领域，并公开了一种热丝化学气相沉积设备。本设备包括反应腔体，支撑台架，腔体上盖采用翻盖式结构，腔体四周布置了两个翻盖式观察窗，腔体内部零部件包括金属热丝、热丝架、弹簧拉紧装置、热丝电极、钼板基座、进气口及抽气口，热丝架为双层结构，通过连接弹簧拉伸装置保持金属热丝的紧绷，反应腔体共焊接五条冷却水道，分别分布于盖板、腔体侧壁上部、腔体外壁下部、弹簧装置连接块以及下底板，冷却水道中通入冷却水用于带走沉积实验产生的热量；支撑台架是反应腔体的载体。通过本发明，增强热丝化学气相沉积过程的便捷性和安全性，提高设备的沉积效率。
-
公开(公告)号：CN107400875A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201710565466.X
申请日：2017-07-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于化学气相沉积领域，并公开了一种热丝化学气相沉积设备。本设备包括反应腔体，支撑台架，腔体上盖采用翻盖式结构，腔体四周布置了两个翻盖式观察窗，腔体内部零部件包括金属热丝、热丝架、弹簧拉紧装置、热丝电极、钼板基座、进气口及抽气口，热丝架为双层结构，通过连接弹簧拉伸装置保持金属热丝的紧绷，反应腔体共焊接五条冷却水道，分别分布于盖板、腔体侧壁上部、腔体外壁下部、弹簧装置连接块以及下底板，冷却水道中通入冷却水用于带走沉积实验产生的热量；支撑台架是反应腔体的载体。通过本发明，增强热丝化学气相沉积过程的便捷性和安全性，提高设备的沉积效率。
-
公开(公告)号：CN105490058B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201610013836.4
申请日：2016-01-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01R13/40 , H01R13/502
Abstract: 一种绝缘密封电极组件，属于电气连接部件，用于需要封闭的导电材料腔体，解决现有电极绝缘密封装置存在的体积较大、结构比较复杂、密封效果差且不能承受高温的问题。本发明包括铜棒、上套筒、上端固定螺母、隔离垫圈、内套筒、外套筒、底座密封圈、固定垫圈、下端固定螺母和下套筒，使用时，所述外套筒通过固定垫圈和下端固定螺母连接到设备腔体基座上，使得电极正常导电工作的同时，保证电极和与其连接的设备腔体之间的绝缘性，且可以保证连接部位的密封性，从而保证了设备整体的安全性。
-
公开(公告)号：CN105628175A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610036855.9
申请日：2016-01-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01H9/00
CPC classification number: G01H9/004
Abstract: 一种空气主轴振动精密测量装置及其方法，属于超精密加工中振动测量领域，解决现有测量装置存在无法准确地测量高速运动物体的问题和现有测量方法存在测量角度和方向不准确以及缺少准确的数据分析的问题，用于高速旋转空气主轴振动的测量。本发明的精密测量装置，包括隔振平台、支撑框架、主轴固定组件、正X向激光组件、Z向激光组件、Y向激光组件、负X向激光组件、红外线测量组件、下斜方棱镜组件、上斜方棱镜组件、角锥棱镜组件；本发明的测量方法，包括激光束对焦步骤、测量空气主轴跳动量步骤、计算偏心距步骤、计算圆度误差步骤和计算振动量步骤。通过本发明的装置和方法，可以准确地获得空气主轴在尺度100纳米以内的振动。
-
公开(公告)号：CN104862670A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510226286.X
申请日：2015-05-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/448
Abstract: 一种热丝拉紧装置，属于机械滑动部件与装置，用于有效地防止热丝因加热而产生的伸长下垂。本发明包括盒体、滑轨，滑动板、支撑板、上端盖、左端盖、中间连接板、左端连接板、钼棒螺杆，滑轨、滑动板以及固定在滑动板上方的支撑板共同构成了滑动系统；使用时，所述左端盖通过螺栓与热丝沉积系统的腔体外壁连接，左端盖的左侧面朝向热丝沉积系统内腔。本发明利用简单的弹簧、滑道等机械部件以及铜片的温度特性，简单有效的实现了HFCVD系统中热丝在加热过程中自动拉紧的目的，不仅保证衬底材料附近温度场的稳定，而且提高了热丝的寿命。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.019 seconds)
