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公开(公告)号：CN105490058A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610013836.4
申请日：2016-01-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01R13/40 , H01R13/502
CPC classification number: H01R13/40 , H01R13/502
Abstract: 一种绝缘密封电极组件，属于电气连接部件，用于需要封闭的导电材料腔体，解决现有电极绝缘密封装置存在的体积较大、结构比较复杂、密封效果差且不能承受高温的问题。本发明包括铜棒、上套筒、上端固定螺母、隔离垫圈、内套筒、外套筒、底座密封圈、固定垫圈、下端固定螺母和下套筒，使用时，所述外套筒通过固定垫圈和下端固定螺母连接到设备腔体基座上，使得电极正常导电工作的同时，保证电极和与其连接的设备腔体之间的绝缘性，且可以保证连接部位的密封性，从而保证了设备整体的安全性。
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公开(公告)号：CN107400875B
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201710565466.X
申请日：2017-07-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于化学气相沉积领域，并公开了一种热丝化学气相沉积设备。本设备包括反应腔体，支撑台架，腔体上盖采用翻盖式结构，腔体四周布置了两个翻盖式观察窗，腔体内部零部件包括金属热丝、热丝架、弹簧拉紧装置、热丝电极、钼板基座、进气口及抽气口，热丝架为双层结构，通过连接弹簧拉伸装置保持金属热丝的紧绷，反应腔体共焊接五条冷却水道，分别分布于盖板、腔体侧壁上部、腔体外壁下部、弹簧装置连接块以及下底板，冷却水道中通入冷却水用于带走沉积实验产生的热量；支撑台架是反应腔体的载体。通过本发明，增强热丝化学气相沉积过程的便捷性和安全性，提高设备的沉积效率。
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公开(公告)号：CN107400875A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201710565466.X
申请日：2017-07-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于化学气相沉积领域，并公开了一种热丝化学气相沉积设备。本设备包括反应腔体，支撑台架，腔体上盖采用翻盖式结构，腔体四周布置了两个翻盖式观察窗，腔体内部零部件包括金属热丝、热丝架、弹簧拉紧装置、热丝电极、钼板基座、进气口及抽气口，热丝架为双层结构，通过连接弹簧拉伸装置保持金属热丝的紧绷，反应腔体共焊接五条冷却水道，分别分布于盖板、腔体侧壁上部、腔体外壁下部、弹簧装置连接块以及下底板，冷却水道中通入冷却水用于带走沉积实验产生的热量；支撑台架是反应腔体的载体。通过本发明，增强热丝化学气相沉积过程的便捷性和安全性，提高设备的沉积效率。
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公开(公告)号：CN105490058B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201610013836.4
申请日：2016-01-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01R13/40 , H01R13/502
Abstract: 一种绝缘密封电极组件，属于电气连接部件，用于需要封闭的导电材料腔体，解决现有电极绝缘密封装置存在的体积较大、结构比较复杂、密封效果差且不能承受高温的问题。本发明包括铜棒、上套筒、上端固定螺母、隔离垫圈、内套筒、外套筒、底座密封圈、固定垫圈、下端固定螺母和下套筒，使用时，所述外套筒通过固定垫圈和下端固定螺母连接到设备腔体基座上，使得电极正常导电工作的同时，保证电极和与其连接的设备腔体之间的绝缘性，且可以保证连接部位的密封性，从而保证了设备整体的安全性。
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