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公开(公告)号：CN107400875B
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201710565466.X
申请日：2017-07-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于化学气相沉积领域，并公开了一种热丝化学气相沉积设备。本设备包括反应腔体，支撑台架，腔体上盖采用翻盖式结构，腔体四周布置了两个翻盖式观察窗，腔体内部零部件包括金属热丝、热丝架、弹簧拉紧装置、热丝电极、钼板基座、进气口及抽气口，热丝架为双层结构，通过连接弹簧拉伸装置保持金属热丝的紧绷，反应腔体共焊接五条冷却水道，分别分布于盖板、腔体侧壁上部、腔体外壁下部、弹簧装置连接块以及下底板，冷却水道中通入冷却水用于带走沉积实验产生的热量；支撑台架是反应腔体的载体。通过本发明，增强热丝化学气相沉积过程的便捷性和安全性，提高设备的沉积效率。
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公开(公告)号：CN109682299A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201910040968.X
申请日：2019-01-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于远距离面内亚微米级位移测量与控制相关技术领域，其公开了一种基于位置敏感探测器的远距离面内位移测量与控制系统，该系统包括第一激光器、激光位置调节组件、密闭管路子系统、位置敏感探测器、数据采集卡及微处理器，该第一激光器设置在该激光位置调节组件上，所述第一激光器发射的激光在该密闭管路子系统内沿直线传播；该位置敏感探测器收容在该密闭管路子系统中，该第一激光器及该激光位置调节组件也收容于该密闭管路子系统内，且该位置敏感探测器与该第一激光器分别位于该密闭管路子系统相背的两端；该数据采集卡连接该位置敏感探测器及该微处理器。本发明提高了控制精度及集成度，降低了成本，灵活性较好。
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公开(公告)号：CN107400875A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201710565466.X
申请日：2017-07-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于化学气相沉积领域，并公开了一种热丝化学气相沉积设备。本设备包括反应腔体，支撑台架，腔体上盖采用翻盖式结构，腔体四周布置了两个翻盖式观察窗，腔体内部零部件包括金属热丝、热丝架、弹簧拉紧装置、热丝电极、钼板基座、进气口及抽气口，热丝架为双层结构，通过连接弹簧拉伸装置保持金属热丝的紧绷，反应腔体共焊接五条冷却水道，分别分布于盖板、腔体侧壁上部、腔体外壁下部、弹簧装置连接块以及下底板，冷却水道中通入冷却水用于带走沉积实验产生的热量；支撑台架是反应腔体的载体。通过本发明，增强热丝化学气相沉积过程的便捷性和安全性，提高设备的沉积效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105490058B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201610013836.4
申请日：2016-01-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01R13/40 , H01R13/502
Abstract: 一种绝缘密封电极组件，属于电气连接部件，用于需要封闭的导电材料腔体，解决现有电极绝缘密封装置存在的体积较大、结构比较复杂、密封效果差且不能承受高温的问题。本发明包括铜棒、上套筒、上端固定螺母、隔离垫圈、内套筒、外套筒、底座密封圈、固定垫圈、下端固定螺母和下套筒，使用时，所述外套筒通过固定垫圈和下端固定螺母连接到设备腔体基座上，使得电极正常导电工作的同时，保证电极和与其连接的设备腔体之间的绝缘性，且可以保证连接部位的密封性，从而保证了设备整体的安全性。
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公开(公告)号：CN105490058A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610013836.4
申请日：2016-01-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01R13/40 , H01R13/502
CPC classification number: H01R13/40 , H01R13/502
Abstract: 一种绝缘密封电极组件，属于电气连接部件，用于需要封闭的导电材料腔体，解决现有电极绝缘密封装置存在的体积较大、结构比较复杂、密封效果差且不能承受高温的问题。本发明包括铜棒、上套筒、上端固定螺母、隔离垫圈、内套筒、外套筒、底座密封圈、固定垫圈、下端固定螺母和下套筒，使用时，所述外套筒通过固定垫圈和下端固定螺母连接到设备腔体基座上，使得电极正常导电工作的同时，保证电极和与其连接的设备腔体之间的绝缘性，且可以保证连接部位的密封性，从而保证了设备整体的安全性。
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公开(公告)号：CN107991389B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201711248600.X
申请日：2017-12-01
Applicant: 华中科技大学无锡研究院
Abstract: 本发明公开了一种超声波无损检测装置，其包括移动平台、立柱、转动臂、压力传感器、超声波换能器和控制系统，所述移动平台上安装有所述立柱，所述立柱内安装有升降机构和升降配重模块，所述转动臂的一端连接于所述升降机构上，所述升降机构控制所述转动臂进行升降加压运动，所述转动臂的另一端设置有自控锁紧球铰链，所述压力传感器连接于所述自控锁紧球铰链的下方，所述超声换能器通过弹簧导柱连接机构与压力传感器连接，所述控制系统控制整个检测装置各执行部件动作。上述超声波无损检测装置不仅结构紧凑，能够减少超声检测过程中的人工干预，降低检测人员的劳动强度，而且能够提高超声波检测结果的精度和可靠性。
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公开(公告)号：CN109682299B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201910040968.X
申请日：2019-01-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于远距离面内亚微米级位移测量与控制相关技术领域，其公开了一种基于位置敏感探测器的远距离面内位移测量与控制系统，该系统包括第一激光器、激光位置调节组件、密闭管路子系统、位置敏感探测器、数据采集卡及微处理器，该第一激光器设置在该激光位置调节组件上，所述第一激光器发射的激光在该密闭管路子系统内沿直线传播；该位置敏感探测器收容在该密闭管路子系统中，该第一激光器及该激光位置调节组件也收容于该密闭管路子系统内，且该位置敏感探测器与该第一激光器分别位于该密闭管路子系统相背的两端；该数据采集卡连接该位置敏感探测器及该微处理器。本发明提高了控制精度及集成度，降低了成本，灵活性较好。
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公开(公告)号：CN107991389A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201711248600.X
申请日：2017-12-01
Applicant: 华中科技大学无锡研究院
Abstract: 本发明公开了一种超声波无损检测装置，其包括移动平台、立柱、转动臂、压力传感器、超声波换能器和控制系统，所述移动平台上安装有所述立柱，所述立柱内安装有升降机构和升降配重模块，所述转动臂的一端连接于所述升降机构上，所述升降机构控制所述转动臂进行升降加压运动，所述转动臂的另一端设置有自控锁紧球铰链，所述压力传感器连接于所述自控锁紧球铰链的下方，所述超声换能器通过弹簧导柱连接机构与压力传感器连接，所述控制系统控制整个检测装置各执行部件动作。上述超声波无损检测装置不仅结构紧凑，能够减少超声检测过程中的人工干预，降低检测人员的劳动强度，而且能够提高超声波检测结果的精度和可靠性。
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