公开(公告)号：CN105628175A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201610036855.9

申请日：2016-01-20

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 许剑锋 ,  许光立 ,  田睿吉 ,  陈肖 ,  卓弘阳 ,  陶俭

IPC: G01H9/00

CPC classification number: G01H9/004

Abstract: 一种空气主轴振动精密测量装置及其方法，属于超精密加工中振动测量领域，解决现有测量装置存在无法准确地测量高速运动物体的问题和现有测量方法存在测量角度和方向不准确以及缺少准确的数据分析的问题，用于高速旋转空气主轴振动的测量。本发明的精密测量装置，包括隔振平台、支撑框架、主轴固定组件、正X向激光组件、Z向激光组件、Y向激光组件、负X向激光组件、红外线测量组件、下斜方棱镜组件、上斜方棱镜组件、角锥棱镜组件；本发明的测量方法，包括激光束对焦步骤、测量空气主轴跳动量步骤、计算偏心距步骤、计算圆度误差步骤和计算振动量步骤。通过本发明的装置和方法，可以准确地获得空气主轴在尺度100纳米以内的振动。

公开(公告)号：CN105628175B

公开(公告)日：2018-10-30

申请号：CN201610036855.9

申请日：2016-01-20

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 许剑锋 ,  许光立 ,  田睿吉 ,  陈肖 ,  卓弘阳 ,  陶俭

IPC: G01H9/00

Abstract: 一种空气主轴振动精密测量装置及其方法，属于超精密加工中振动测量领域，解决现有测量装置存在无法准确地测量高速运动物体的问题和现有测量方法存在测量角度和方向不准确以及缺少准确的数据分析的问题，用于高速旋转空气主轴振动的测量。本发明的精密测量装置，包括隔振平台、支撑框架、主轴固定组件、正X向激光组件、Z向激光组件、Y向激光组件、负X向激光组件、红外线测量组件、下斜方棱镜组件、上斜方棱镜组件、角锥棱镜组件；本发明的测量方法，包括激光束对焦步骤、测量空气主轴跳动量步骤、计算偏心距步骤、计算圆度误差步骤和计算振动量步骤。通过本发明的装置和方法，可以准确地获得空气主轴在尺度100纳米以内的振动。