一种产生挠曲电的结构和方法

    公开(公告)号:CN115694405B

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN202211436386.1

    申请日:2022-11-16

    Abstract: 本发明公开了一种产生挠曲电的结构和方法,将叉指换能器和薄膜器件进行片上集成,同时给两侧的叉指换能器施加频率、相位、幅值相同的正弦波,由于薄膜器件的上电极未施加任何载荷,在声表面波的周期性拉伸的作用下薄膜器件的介质层会产生应变梯度,周期性变化的应变梯度会产生极化电荷,即产生了挠曲电效应。通过将薄膜器件设置于一对叉指换能器在被施加正弦波时产生的声表面波驻波的波腹处,位于波腹处的薄膜器件在声表波的作用下受到的拉伸强烈,产生的挠曲电效果更强。采用本发明的结构产生挠曲电效应对薄膜器件的表面无损伤,对挠曲电能量采集、挠曲电传感等方面的应用发展具有重要的意义。

    一种产生挠曲电的结构和方法

    公开(公告)号:CN115694405A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202211436386.1

    申请日:2022-11-16

    Abstract: 本发明公开了一种产生挠曲电的结构和方法,将叉指换能器和薄膜器件进行片上集成,同时给两侧的叉指换能器施加频率、相位、幅值相同的正弦波,由于薄膜器件的上电极未施加任何载荷,在声表面波的周期性拉伸的作用下薄膜器件的介质层会产生应变梯度,周期性变化的应变梯度会产生极化电荷,即产生了挠曲电效应。通过将薄膜器件设置于一对叉指换能器在被施加正弦波时产生的声表面波驻波的波腹处,位于波腹处的薄膜器件在声表波的作用下受到的拉伸强烈,产生的挠曲电效果更强。采用本发明的结构产生挠曲电效应对薄膜器件的表面无损伤,对挠曲电能量采集、挠曲电传感等方面的应用发展具有重要的意义。

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