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公开(公告)号：CN117966134A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410013500.2
申请日：2024-01-04
Applicant: 北方工业大学
Abstract: 在散热技术领域，本发明提供一种自旋转金刚石散热器制备方法，包括：制备金刚石模具；将金刚石模具放入微波等离子体CVD装置中使金刚石模具上生长金刚石，当完成生长后，去除金刚石模具得到初加工金刚石；将两个初加工金刚石间隔预设距离放入夹具中固定后放入CVD装置中生长金刚石，形成金刚石柱体，金刚石柱体的侧壁上设置多个柱状孔和一个微孔；制备多个金刚石管；将金刚石管焊接在金刚石柱体的柱状孔上，得到金刚石组合体；通过微孔向金刚石组合体的内注入工质；将注入工质后的金刚石组合体进行低压封装得到金刚石散热器。本发明用金刚石制备高效散热器，金刚石具有极高且稳定的热导率，因此，金刚石高效散热器的传热性能高于铜材质散热器。
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公开(公告)号：CN119187574A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411304793.6
申请日：2024-09-19
Applicant: 北方工业大学
Abstract: 本发明公开了一种金刚石与半导体键合的复合材料及其制备方法，所述制备方法包括：获得含支撑结构的半导体层和金刚石层，并将其作为上下表面与作为中间层的钛金属层进行热压键合，其后去除挤出的钛金属和支撑结构，并进行表面清理，得到所述复合材料，其中，所述钛金属层的获得包括：将钛粉依次进行热等静压烧结、冷轧成型、两次退火及氧化层去除。本发明可得到高键合强度、低热边界阻的金刚石与半导体键合的复合材料。
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公开(公告)号：CN118028771A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410307942.8
申请日：2024-03-18
Applicant: 北方工业大学
IPC: C23C16/27 , C23C16/515 , C23C16/54
Abstract: 本发明提供一种调控等离子体制备高强韧性孪晶金刚石环的方法，涉及化学气相沉积技术领域。所述方法包括以下步骤：步骤S1、制备圆环状衬底；步骤S2、采用旋转脉冲法进行初次沉积，得到初加工孪晶金刚石环；步骤S3、采用旋转脉冲法进行二次沉积，得到再加工孪晶金刚石环；步骤S4、孪晶金刚石环表面处理。本发明通过旋转脉冲法调控等离子体源的相对旋转速度的大小，产生脉冲式能量波动。所述方法具有设备操作简单，制备难度低等优点，所得孪晶金刚石环具有高强硬度及韧性，可用于纯金刚石砂轮等生产实际应用。
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公开(公告)号：CN119956484A
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202510128588.7
申请日：2025-01-27
Applicant: 北方工业大学
Abstract: 本发明提供一种八棱多晶金刚石及其制备方法，涉及MPCVD沉积技术领域。本发明提供所述八棱多晶金刚石的制备方法，包括以下步骤：将金刚石细粉放置于衬底，通过加压研磨在衬底表面形成形核点；将载有形核点的衬底放入设备中进行初次沉积，得到纳米晶金刚石膜；后升高沉积台进行二次沉积，得到二次沉积金刚石膜，将八棱多晶金刚石从二次沉积金刚石膜上取下，得到八棱多晶金刚石。本发明先利用加压研磨法在衬底表面产生形核点，再通过调控等离子体组分、等离子体温度及垂直方向等离子体分布，最终成功制备出八棱多晶金刚石，其中制备的八棱多晶金刚石应用范围广。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119265534A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411279351.0
申请日：2024-09-12
Applicant: 北方工业大学
Abstract: 本发明提供了一种通过马赛克拼接提高金刚石颗粒硬度的方法，属于超硬材料领域。该方法包括以下步骤：1）选择待加工的单晶金刚石颗粒，在铜衬底表面加工微孔；2）将单晶金刚石拼接到微孔中，将铜衬底放入CVD设备，在裸露的金刚石颗粒表面脉冲式沉积一层掺杂金刚石；3）将脉冲式沉积掺杂金刚石层的颗粒形成的膜取下倒置于合金粉末上，形成包裹金刚石掺杂面的合金衬底；4）将上述衬底放置到CVD设备中，在金刚石颗粒表面脉冲式沉积掺杂金刚石，直至达到首次脉冲沉积的厚度；5）将沉积后的金刚石颗粒破碎处理。通过此方法制备的金刚石颗粒硬度提高2~4.5倍。此方法还可提高金刚石粉末品级，且制备工艺简便、成本低廉，适用于各种高硬度需求的工业应用。
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公开(公告)号：CN222226553U
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202420906035.0
申请日：2024-04-28
Applicant: 北方工业大学
IPC: C23C16/511 , C23C16/27 , C30B25/00 , C30B28/14 , C30B29/04
Abstract: 本实用新型提供一种精准调谐的MPCVD装置，包括微波传输装置，微波传输装置的底部设置有腔室，腔室的底部开设有排气口，腔室的内部设置有石英罩；微波传输装置中贯穿设置有同轴天线，同轴天线的底部位于腔室中，同轴天线的顶部与顶部传动机构连接；腔室的底部贯穿设置有多个底部天线，底部天线的顶部位于腔室的内壁与石英罩的外壁之间，底部天线的底部与底部传动机构连接。上述方案中，所述MPCVD装置结构简单、设计科学合理、使用方便，通过设置顶部传动机构和底部传动机构，可使同轴天线和底部天线进行精准进给，实现了精准调谐，提高了设备的精密性，因此，能够提高金刚石沉积效率和表面质量。
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公开(公告)号：CN221840242U
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202420410792.9
申请日：2024-03-04
Applicant: 北方工业大学
Abstract: 本实用新型提供一种集成热管的金刚石不锈钢散热器，涉及热管理材料制备领域，包括基片层和金刚石层，在所述基片层上且沿着所述基片层的宽度方向布设至少一个凹槽；所述基片层的上表面和所述凹槽的内表面分别布设改性层；所述改性层的上表面沉积有金刚石层，所述金刚石层与每个所述凹槽的改性层之间设有冷却液通道；相邻两个冷却液通道之间连接有热管；所述冷却液通道连通微型水泵，所述微型水泵用于控制冷却液通道内的冷却液流速；本实用新型制作工艺简单、散热效率高、成本低。
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公开(公告)号：CN220783559U
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202322637485.2
申请日：2023-09-27
Applicant: 北方工业大学
Abstract: 本实用新型在金刚石磨具中，特别涉及一种圆弧形嵌入式自紧固金刚石磨具，包括：基体、金刚石磨块和水冷通道，其中，基体的截面为凹形设置，基体的内壁呈弧形设置，基体的中空部分呈半圆设置，基体的内壁均匀开设多个凸形盲孔，多个凸形盲孔的中心点的连线呈弧形半圆设置；金刚石磨块的数量与凸形盲孔的数量适配，金刚石磨块包括凸块和金刚石块，凸块安装在对应的凸形盲孔内，每个凸块上各安装一个金刚石块，所有金刚石块的表面弧形连线围成的半圆弧形面与基体的内壁的半圆弧形面呈同心设置；基体的内部设置水冷通道，水冷通道用于冷却每个金刚石磨块，本磨具提高了环形工件的加工效率。
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公开(公告)号：CN221501302U
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202323549925.5
申请日：2023-12-26
Applicant: 北方工业大学
Abstract: 本实用新型涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域，其公开了一种边缘强化的沉积机构，位于底部的沉积台(4)上方设有衬底(2)，所述衬底(2)上设有圆环形模具(1)，所述圆环形模具(1)表面、所述衬底(2)顶面形成金刚石形核生长面(3)；所述沉积台(4)内底面向上嵌设有若干条同轴心的环形冷却水通道，用于为沉积过程冷却降温。本实用新型包括可调节降温的沉积台，可方便调谐出环形电场，通过强化该电场，离化气体，形成环形等离子体，该环形区域是等离子体集中区域，具有更高的等离子体电子密度、功率密度。因此，在调谐出环形电场后，衬底边缘的金刚石沉积速率高。
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