公开(公告)号：CN119956484A

公开(公告)日：2025-05-09

申请号：CN202510128588.7

申请日：2025-01-27

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 安康 ,  李利军 ,  张永康 ,  刘峰斌 ,  张亚琛 ,  肖娜薇 ,  李自超 ,  任美玲 ,  王梦鑫 ,  豆照良 ,  李鸿

IPC: C30B29/04 ,  C30B29/66 ,  C30B28/14

Abstract: 本发明提供一种八棱多晶金刚石及其制备方法，涉及MPCVD沉积技术领域。本发明提供所述八棱多晶金刚石的制备方法，包括以下步骤：将金刚石细粉放置于衬底，通过加压研磨在衬底表面形成形核点；将载有形核点的衬底放入设备中进行初次沉积，得到纳米晶金刚石膜；后升高沉积台进行二次沉积，得到二次沉积金刚石膜，将八棱多晶金刚石从二次沉积金刚石膜上取下，得到八棱多晶金刚石。本发明先利用加压研磨法在衬底表面产生形核点，再通过调控等离子体组分、等离子体温度及垂直方向等离子体分布，最终成功制备出八棱多晶金刚石，其中制备的八棱多晶金刚石应用范围广。