公开(公告)号：CN110468390A

公开(公告)日：2019-11-19

申请号：CN201910710172.0

申请日：2019-08-02

Applicant: 北方夜视技术股份有限公司

Inventor： 孙建宁 ,  邱祥彪 ,  曹柱荣 ,  张正君 ,  丛晓庆 ,  毛汉祺 ,  李婧雯 ,  乔芳建 ,  高鹏 ,  牛鹏杰 ,  张欢

IPC: C23C16/455 ,  H01J43/10

Abstract: 本发明提供一种超大长径比微通道板通道内壁制备功能膜层的方法，通过提供新型设计的沉积用反应腔，结合充分扩散的工艺，在超大长径比微通道板基底内壁沉积厚度均匀的具有高二次电子发射系数、高介电常数的单一功能膜层或者复合功能膜层以提升微通道板增益性能的同时，提高微通道板电荷存储能力，以此提高微通道板在瞬态电子成像与探测系统中应用时的动态范围。

公开(公告)号：CN110468390B

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN201910710172.0

申请日：2019-08-02

Applicant: 北方夜视技术股份有限公司

Inventor： 孙建宁 ,  邱祥彪 ,  曹柱荣 ,  张正君 ,  丛晓庆 ,  毛汉祺 ,  李婧雯 ,  乔芳建 ,  高鹏 ,  牛鹏杰 ,  张欢

IPC: C23C16/455 ,  H01J43/10

Abstract: 本发明提供一种超大长径比微通道板通道内壁制备功能膜层的方法，通过提供新型设计的沉积用反应腔，结合充分扩散的工艺，在超大长径比微通道板基底内壁沉积厚度均匀的具有高二次电子发射系数、高介电常数的单一功能膜层或者复合功能膜层以提升微通道板增益性能的同时，提高微通道板电荷存储能力，以此提高微通道板在瞬态电子成像与探测系统中应用时的动态范围。

公开(公告)号：CN103646836A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201310660810.5

申请日：2013-12-06

Applicant: 北方夜视技术股份有限公司

Inventor： 孙赛林 ,  潘京生 ,  曹柱荣 ,  孙建宁 ,  张正君 ,  苏德坦 ,  胡松 ,  邵爱飞 ,  赵慧民 ,  顾燕

IPC: H01J9/00 ,  H01J43/00

Abstract: 本发明公开了一种采用溶剂刻蚀法制备喇叭口微通道板的方法。采用喷淋方式依次对微通道板进行酸的微处理及碱的微处理；采用喷射的方式对微通道板进行氢氟酸的处理；采用酸碱处理的方式去除微通道板的芯料，制得喇叭口微通道板。此法的优点是避免了微通道单端喇叭口微通道板制作过程中传统方法带来的微通道板污染问题，不影响微通道板的性能。通过该方法得到的喇叭口通道有利于电子的接收或者X射线的收集，输出端又不发散，因此，在像增强器领域分辨率会提高，在探测领域探测的效率会大大提高。通过试验证明，微通道板开口部分达到了喇叭口的要求，开口面积比达到68%以上，通道板的测试性能得到很好的改善。

公开(公告)号：CN110560906B

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN201910710181.X

申请日：2019-08-02

Applicant: 北方夜视技术股份有限公司

Inventor： 孙建宁 ,  乔芳建 ,  曹柱荣 ,  丛晓庆 ,  毛汉祺 ,  张正君 ,  李婧雯 ,  邱祥彪 ,  高鹏 ,  牛鹏杰 ,  张欢

IPC: B23K26/352 ,  B23K26/06 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/04 ,  H01J43/24 ,  H01J9/12

Abstract: 本发明提供一种降低微通道板通道内表面粗糙度的系统和方法，包括：飞秒激光器，用以产生并输出脉冲光信号；调制光学组件，设置在飞秒激光器的出光侧，用以将飞秒激光器产生的脉冲光信号转变为平行脉冲光束；微通道板固定架，被设置用于固定待处理的微通道板，所述微通道板为一多微孔结构的光学元件，所述每个微孔结构构成一通道；姿态调整组件，固定到所述微通道板固定架上；第一电机，通过驱动机构连接到并将旋转力矩传递到所述姿态调整机构，使得通过姿态调整机构驱动微通道板固定架的姿态调整，从而调整平行脉冲光束进入微通道板通道进行吹扫的角度和位置。通过本发明的均匀性激光脉冲吹扫，可明显降低微通道板的内表面粗糙度以及暗电流密度。

公开(公告)号：CN110560906A

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：CN201910710181.X

申请日：2019-08-02

Applicant: 北方夜视技术股份有限公司

Inventor： 孙建宁 ,  乔芳建 ,  曹柱荣 ,  丛晓庆 ,  毛汉祺 ,  张正君 ,  李婧雯 ,  邱祥彪 ,  高鹏 ,  牛鹏杰 ,  张欢

IPC: B23K26/352 ,  B23K26/06 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/04 ,  H01J43/24 ,  H01J9/12

Abstract: 本发明提供一种降低微通道板通道内表面粗糙度的系统和方法，包括：飞秒激光器，用以产生并输出脉冲光信号；调制光学组件，设置在飞秒激光器的出光侧，用以将飞秒激光器产生的脉冲光信号转变为平行脉冲光束；微通道板固定架，被设置用于固定待处理的微通道板，所述微通道板为一多微孔结构的光学元件，所述每个微孔结构构成一通道；姿态调整组件，固定到所述微通道板固定架上；第一电机，通过驱动机构连接到并将旋转力矩传递到所述姿态调整机构，使得通过姿态调整机构驱动微通道板固定架的姿态调整，从而调整平行脉冲光束进入微通道板通道进行吹扫的角度和位置。通过本发明的均匀性激光脉冲吹扫，可明显降低微通道板的内表面粗糙度以及暗电流密度。