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发明公开
一种石英摆片多参数自动化检测装置及方法审中-实审

公开(公告)号：CN116499379A

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN202310463623.1

申请日：2023-04-26

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 王静 , 陈晓磊 , 张国锐 , 刘建梅 , 刘明智 , 崔璨

IPC: G01B11/06 , G01B11/02

Abstract: 本发明针对石英摆片硬、脆、易碎，接触测量受力时会发生变形的问题，提供了一种适用于石英摆片的自动化检测装置及方法，属于测量检测装置的制造及其应用技术领域，包含运动模块、传感模块、测量工装及控制模块四个部分。运动模块将传感模块精确移动到指定位置，通过传感模块对放置在测量工装上的待测摆片的两面各3个台阶的高度、摆片厚度和摆舌的下垂量进行高精度测量。具有集成控制、一键操作、检测效率高和精度好的特点，可广泛应用于微小零件尺寸的高精度测量。

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