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公开(公告)号：CN118913439A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410278774.4
申请日：2024-03-12
Applicant: 北京理工大学 , 北京卫星环境工程研究所
Abstract: 本发明公开的同时探测日冕、过渡区和色球的太阳极紫外成像光谱仪，属于太阳极紫外观测领域。本发明包括第一片孔径光阑、第二片滤光片、第三片主反射镜、第四片狭缝件、第五片光栅次镜、第六片探测器、第七片探测器、第八片探测器。本发明采用前置离轴凹面反射镜和凹面反射光栅结合的狭缝扫描式光谱成像结构，采用的光栅是基于非罗兰圆结构下的椭球面变线距光栅，前置离轴望远主镜采用采用离轴离轴抛物面型，针对日冕区域的光谱诊断范围为17nm～21nm，针对过渡区域的光谱诊断范围为70nm～80nm，针对色球区域的光谱诊断范围为95nm～105nm，能够同时获得日冕、过渡区和色球区域的高空间、高光谱分辨和大瞬时狭缝视场的消像散光谱图像。
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公开(公告)号：CN116774499A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310614576.6
申请日：2023-05-29
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的一种用于舰载直升机助降光学系统的针孔相机，属于舰载直升机助降光学领域。本发明由六片式球面透镜组、孔径光阑以及探测器构成。第一片透镜与第二片透镜组合，实现对光学系统中场曲的校正。第三片透镜、第四片透镜、第五片透镜相结合，改善系统中的畸变。第六片镧系玻璃再次对系统的场曲校正，并在第七面聚焦成像面接收。孔径光阑位于系统的第四片透镜前表面处以实现对进入光学系统光线的限制。本发明通过飞行甲板两侧的红外摄像镜头对机身上的两组红外激光信标进行跟踪拍摄，实现对舰载直升机位置的捕捉，同时根据分配红外光学系统中各透镜的正负光焦度来实现对系统各项像差的校正，提高舰载直升机助降光学成像精度。
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公开(公告)号：CN109274954A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811259467.2
申请日：2018-10-26
Applicant: 北京理工大学
IPC: H04N13/128 , H04N13/275
Abstract: 本发明公开一种小凹单目立体成像系统，包括成像模块，小凹模块，探测器和计算模块；成像模块对目标场景成像得到中间像；小凹模块在沿光轴的两个不同位置对中间像的目标区域分别成像；探测器采集小凹模块所成的两个图像a和b，寻找两个图像中相同的像点，以图像a为基准，计算此像点在探测器上位于图像a与图像b的坐标的差值，即获得目标区域的视差信息；计算模块根据所述视差信息和小凹模块的位置信息解算出目标区域的三维空间坐标，最终实现目标区域的立体成像，本发明能够克服单目立体视觉技术操作复杂，信息利用率低的问题，实现高效快速、有针对性地单目立体成像的效果。
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公开(公告)号：CN101975983B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201010279318.X
申请日：2010-09-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种高分辨率非球面光刻物镜，属于高分辨力投影光刻物镜技术领域。本发明的高分辨率非球面光刻物镜包括前透镜组、后透镜组，数值孔径为0.75，共使用29片透镜，其中有3个表面使用了10次非球面；透镜材料使用熔石英和氟化钙，其中氟化钙的作用为校正色差。本发明进一步提高了现有投影光刻物镜的分辨力，使用少量的低阶非球面大幅提高了成像质量，各个透镜元件的半径、厚度间距在优化中发生改变以配合非球面更好的校正像差。以中心光线为参考时单色均方根波像差小于1nm，畸变小于0.7nm。
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公开(公告)号：CN101950065B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201010278088.5
申请日：2010-09-10
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种深紫外全球面光刻物镜，属于高分辨力投影光刻物镜技术领域。本发明提出了一种照明系统工作波长为193nm，数值孔径达到0.75的深紫外光刻物镜，该物镜结构紧凑、大视场、成像质量优良，各镜片全部使用球面，降低了加工难度；包括前后透镜组，共使用29片全球面透镜；透镜材料使用熔石英和氟化钙，其中，氟化钙的作用为校正色差。系统双方远心，具有极高的远心度。各个透镜元件的半径、厚度间距在优化中进行改变以更好的补偿像差并得到良好的结构参数，最终像质畸变小于1nm，波像差小于3nm。本发明可以应用于照明光源波长为193nm的深紫外投影光刻装置中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109274954B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201811259467.2
申请日：2018-10-26
Applicant: 北京理工大学
IPC: H04N13/128 , H04N13/275
Abstract: 本发明公开一种小凹单目立体成像系统，包括成像模块，小凹模块，探测器和计算模块；成像模块对目标场景成像得到中间像；小凹模块在沿光轴的两个不同位置对中间像的目标区域分别成像；探测器采集小凹模块所成的两个图像a和b，寻找两个图像中相同的像点，以图像a为基准，计算此像点在探测器上位于图像a与图像b的坐标的差值，即获得目标区域的视差信息；计算模块根据所述视差信息和小凹模块的位置信息解算出目标区域的三维空间坐标，最终实现目标区域的立体成像，本发明能够克服单目立体视觉技术操作复杂，信息利用率低的问题，实现高效快速、有针对性地单目立体成像的效果。
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公开(公告)号：CN102508353B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201110352225.X
申请日：2011-11-09
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种高分辨率福布斯非球面光刻物镜，属于高分辨力投影光刻物镜技术领域；具体包括前透镜组、后透镜组，数值孔径为0.75，共使用29片透镜，其中有6个表面使用了福布斯非球面；透镜材料使用熔石英和氟化钙，其中氟化钙的作用为校正色差；前后透镜组通过透镜外框上的机械组件按一定间距固定连接在一起，两个透镜组同光轴。本发明提高了现有投影光刻物镜的分辨力，确保每个非球面与非球面系数的有效性，使得系统设计在减少非球面个数与有效数字个数的同时提高了像质，并大幅降低了公差灵敏度；以中心光线为参考时单色均方根波像差小于0.5nm，畸变小于0.5nm；可以应用于照明光源波长为193nm的深紫外投影光刻装置中。
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公开(公告)号：CN101975983A
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN201010279318.X
申请日：2010-09-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种高分辨率非球面光刻物镜，属于高分辨力投影光刻物镜技术领域。本发明的高分辨率非球面光刻物镜包括前透镜组、后透镜组，数值孔径为0.75，共使用29片透镜，其中有3个表面使用了10次非球面；透镜材料使用熔石英和氟化钙，其中氟化钙的作用为校正色差。本发明进一步提高了现有投影光刻物镜的分辨力，使用少量的低阶非球面大幅提高了成像质量，各个透镜元件的半径、厚度间距在优化中发生改变以配合非球面更好的校正像差。以中心光线为参考时单色均方根波像差小于1nm，畸变小于0.7nm。
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公开(公告)号：CN101950065A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010278088.5
申请日：2010-09-10
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种深紫外全球面光刻物镜，属于高分辨力投影光刻物镜技术领域。本发明提出了一种照明系统工作波长为193nm，数值孔径达到0.75的深紫外光刻物镜，该物镜结构紧凑、大视场、成像质量优良，各镜片全部使用球面，降低了加工难度；包括前后透镜组，共使用29片全球面透镜；透镜材料使用熔石英和氟化钙，其中，氟化钙的作用为校正色差。系统双方远心，具有极高的远心度。各个透镜元件的半径、厚度间距在优化中进行改变以更好的补偿像差并得到良好的结构参数，最终像质畸变小于1nm，波像差小于3nm。本发明可以应用于照明光源波长为193nm的深紫外投影光刻装置中。
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公开(公告)号：CN118329798A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410447478.2
申请日：2024-04-15
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于液晶空间光调制器的紧凑型快照式高光谱成像系统及方法，基于液晶空间光调制器,实现了覆盖整个可见光范围的快照式二维高光谱成像系统,分辨率为10nm，通道数为31；LESHI利用训练好的光谱重构模型，将CMOS彩色相机捕获的3通道RGB图像重构为高光谱图像；摒弃了传统的光谱仪扫描式结构，成像速度快，光吞吐量大；LESHI的基础结构仅通过一个偏振片、一个分束器、一个空间光调制器、一个CMOS成像传感器、一个图形计算单元构成，成像结构紧凑，简化了常规光谱仪的成像复杂元件；LESHI利用LCoS‑SLM加载相位调制图的方式模拟制造的DOE，以实现光的相位调制和聚焦；该系统提高了衍射成像光谱相位调制的精度，解决了理想设计的高精度DOE与实际制作DOE的误差。
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