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公开(公告)号：CN114293167B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202111647028.0
申请日：2021-12-30
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开一种真空目标靶溅射沉积监测系统和方法，该系统包括真空腔室，所述真空腔室的底部固定连接有目标靶承载装置，其中，在所述目标靶承载装置上放置目标靶材，所述目标靶承载装置上方设置有旋转称量装置，所述旋转称量装置用于获得在所述真空腔室的任意位置所述目标靶材的沉积质量，所述真空腔室的侧壁上设置有离子发生装置，所述离子发生装置用于电离惰性气体产生离子束，所述离子束用于轰击所述目标靶材。本发明实现溅射目标靶材料的溅射产额的快速、准确、经济测量。
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公开(公告)号：CN115436214B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202211082822.X
申请日：2022-09-06
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01N5/00
Abstract: 本发明公开一种真空目标靶溅射沉积质量的三维检测设备，包括：检测装置，包括支座组件、石英晶体微量天平组件；支座组件上安装有第一驱动机构，第一驱动机构用于驱动石英晶体微量天平组件转动；石英晶体微量天平组件转动连接在支座组件上；靶材调节装置，包括转盘机构、倾覆机构、靶材安装板；倾覆机构安装在转盘机构上，靶材安装板转动连接在倾覆机构上，转盘机构用于驱动靶材安装板水平转动，倾覆机构用于调整靶材安装板的倾斜角度。本发明可实现离子不同轰击入射角的三维溅射区域检测，加工简单、运行可靠、数据采集稳定，通过三维空间的溅射量的采集，可描绘溅射沉积现象的三维整体特征。
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公开(公告)号：CN117007185B
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202311022589.0
申请日：2023-08-15
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开一种用于空心阴极内场光谱的测量装置及方法，装置包括：空心阴极：用于进行激光放电；电源模块：用于对空心阴极进行供电；光谱采集装置：用于采集空心阴极内部的光谱信息；光谱测量装置：用于测量空心阴极的内场强度；数据处理单元：用于对光谱信息进行处理，并获得空心阴极内部场的分布情况；显示装置：用于显示光谱测量装置记录的光谱信息；电源模块与空心阴极连接，光谱采集装置通过光纤与空心阴极发出的光谱信号源处连接，光谱采集装置通过光纤与光谱测量装置连接，数据处理单元与光谱测量装置连接，显示装置与数据处理单元连接。本发明可以得到较为准确的空心阴极内部场分布信息，为研究空心阴极的性能和寿命提供重要数据支持。
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公开(公告)号：CN113247314B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202110613713.5
申请日：2021-06-02
Applicant: 北京理工大学
IPC: B64G1/64
Abstract: 本发明涉及空间绳系系统技术领域，特别是涉及一种适用于空间绳系系统被动释放的系绳弹射机构，包括底座，底座上方固定连接有若干弹射组件，若干弹射组件上方弹性设置有弹射体基座，底座底部和弹射体基座外侧之间设有若干卡接释放组件，若干卡接释放组件与若干弹射组件位置相对应，若干卡接释放组件套设有使卡接释放组件实现释放的绳索组件。本发明可以达到避免系绳损伤，增强弹射装置可靠性的效果。
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公开(公告)号：CN114293167A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111647028.0
申请日：2021-12-30
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开一种真空目标靶溅射沉积监测系统和方法，该系统包括真空腔室，所述真空腔室的底部固定连接有目标靶承载装置，其中，在所述目标靶承载装置上放置目标靶材，所述目标靶承载装置上方设置有旋转称量装置，所述旋转称量装置用于获得在所述真空腔室的任意位置所述目标靶材的沉积质量，所述真空腔室的侧壁上设置有离子发生装置，所述离子发生装置用于电离惰性气体产生离子束，所述离子束用于轰击所述目标靶材。本发明实现溅射目标靶材料的溅射产额的快速、准确、经济测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114595571B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202210219019.X
申请日：2022-03-07
Applicant: 北京理工大学
IPC: G06F30/20 , G06F119/02
Abstract: 本发明提供了一种空心阴极放电不稳定性预估方法，通过纯理论预估模型可以得到不同放电室结构参数和工况参数下，空间电势和阳极电压电流参数脉冲的频率和幅值，通过采用放电模型与零维等离子体模型结合实现对阳极电压电流脉冲预估，通过与PIC仿真模型结合实现对空间电势脉冲的影响，能够判断出电离室结构参数与工况参数对阴极的腐蚀程度，而由于以往离子推力器在放电时需要通过上万小时来确定工况和结构参数对腐蚀的影响，因此利用该发明能够减短预估时长，实现产品生产的时间，并通过数据与实际实验数据对比，可以发现其幅值与频率误差极小，预估精度高。
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公开(公告)号：CN115872408B
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202211278010.2
申请日：2022-10-19
Applicant: 北京理工大学
IPC: C01B33/12
Abstract: 本发明公开了一种基于热等离子体射流的石英砂纯化方法，属于材料提纯技术领域。所述纯化方法包括以下步骤：采用热等离子体射流加热石英砂颗粒，将石英砂破碎进而去除其中的杂质，用去离子水收集后清洗得到纯化后的石英砂；产生热等离子体射流的等离子体火炬的工作功率为6～12kW，石英砂颗粒的通入流量为0.008～0.02kg/s。通过控制等离子体火炬的工作功率和颗粒通入流量来保证石英颗粒的温度始终低于其熔点，使得石英颗粒发生破碎但不会融化。采用热等离子体射流加热石英砂颗粒，在颗粒内部产生热应力和压应力，使得颗粒破碎，从而将颗粒内部的气液杂质和低沸点金属杂质挥发以达到清除颗粒内部杂质的效果。
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公开(公告)号：CN113247314A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110613713.5
申请日：2021-06-02
Applicant: 北京理工大学
IPC: B64G1/64
Abstract: 本发明涉及空间绳系系统技术领域，特别是涉及一种适用于空间绳系系统被动释放的系绳弹射机构，包括底座，底座上方固定连接有若干弹射组件，若干弹射组件上方弹性设置有弹射体基座，底座底部和弹射体基座外侧之间设有若干卡接释放组件，若干卡接释放组件与若干弹射组件位置相对应，若干卡接释放组件套设有使卡接释放组件实现释放的绳索组件。本发明可以达到避免系绳损伤，增强弹射装置可靠性的效果。
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公开(公告)号：CN117062290A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311022613.0
申请日：2023-08-15
Applicant: 北京理工大学
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明涉及一种用于电推力器羽流等离子体电位诊断的探针系统，包括：电源模块，用于提供稳定的直流电源，确保离子体电位诊断模块正常工作；离子体电位诊断模块，用于获取探针诊断数据；电源降噪模块，用于电源输出进行滤波和降噪处理；接地模块，用于保护各个模型正常工作；电源模块、离子体电位诊断模块和接地模块串联连接，离子体电位诊断模块和电源降噪模块并联连接。本发明为了解决目前电推力器放电羽流不同等离子体密度测量精度低的问题。通过计算估算出不同羽流等离子体密度下应使用的球形探针直径，实现羽流等离子体各点高精度诊断。
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