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公开(公告)号：CN114812302A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202111457036.9
申请日：2021-12-02
Applicant: 北京理工大学
IPC: F42C15/40
Abstract: 本发明公开一种基于形状记忆合金的MEMS安全系统，主要由形状记忆合金拔销器、隔爆滑块、后坐保险机构和闭锁机构等部分组成。利用后坐保险机构实现对隔爆滑块的第一道保险，利用形状记忆合金拔销器实现对隔爆滑块的第二道保险，利用离心力推动隔爆滑块运动到位、闭锁机构对隔爆滑块实现位置锁定完成解保动作。本发明要解决的技术问题为：解决小口径弹药引信安全系统在高动态环境中的安全性与可靠性问题，满足小口径弹药引信微小型化、通用化和高可靠性的军事需求。具有以下优点：(1)结构尺寸小；(2)作用可靠；(3)制造成本低；(4)应用范围广。
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公开(公告)号：CN116381275A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310454697.9
申请日：2023-04-25
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01P15/093 , G01P15/08
Abstract: 本发明公开一种基于光信号检测的MOEMS加速度计，属于加速度精准测量领域。主要由输入光纤1、输出光纤2、可动式微镜3组成，可动式微镜3由质量块3‑1、微弹簧3‑2和微反射镜3‑3组成。加速度计将外界输入的加速度信号转换为光信号。通过对输出光信号的精准检测，可以准确得到加速度过载。本发明要解决的技术问题为：进一步提高微光机电加速度计系统的集成度并实现尺寸微小型化。具有以下优点：(1)结构尺寸微小，(2)高灵敏度，(3)系统工作安全可靠。
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公开(公告)号：CN113204079B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202110511479.5
申请日：2021-05-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种MOEMS光开关抗高过载结构的网格设计方法。包括以下内容：MOEMS光开关由器件层(包括输入光纤、输出光纤、可动式微镜、电热保险机构和电热驱动机构)、埋氧层和衬底层组成。衬底层被设计成镂空的网格状结构，在不影响器件层可动式微镜运动的前提下为器件层提供一种限位止挡结构，当MOEMS光开关受到垂直于器件层表面的高过载冲击时，衬底层的网格状结构可以限制可动式微镜、电热保险机构和电热驱动机构该方向上的运动，防止其因为变形过大而发生断裂，对器件层起到了限位保护作用。本发明要解决的技术问题为：提高MOEMS光开关的抗高过载能力，具有以下优点：(1)抗过载能力强；(2)结构尺寸小；(3)工作稳定、可靠性好。
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公开(公告)号：CN112735936B
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202110005187.4
申请日：2021-01-04
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种电感耦合等离子体和聚焦离子束刻蚀的微光开关加工方法。包括两个方面：首先，利用基于电感耦合等离子体(ICP)技术的双面ICP刻蚀工艺加工SOI晶圆得到反射镜表面粗糙度较大的微光开关；然后，利用基于聚焦离子束技术的加工工艺刻蚀微光开关反射镜表面，完成对反射镜表面的微细加工。基于电感耦合等离子体技术加工微光开关和聚焦离子束刻蚀微光开关反射镜表面相结合的工艺可以有效改善微光开关反射镜表面的粗糙度，提高光路的传输效率。
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公开(公告)号：CN117233897A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202210641498.4
申请日：2022-06-08
Applicant: 北京理工大学
IPC: G02B6/35
Abstract: 本发明提供一种基于90°圆弧光纤的移动式MOEMS光开关装置，属于引信全电子安全系统领域。该光开关包括：固定式光纤(输入光纤和输出光纤)、可动光纤(直角弧光纤)、可动式微镜。可动式微镜上设计有一段圆弧形凹槽，凹槽中装配有可动直角弧光纤。可动式微镜的移动影响光纤光路的连接，进而实现光开关的通断状态转换。可动式微镜上设计有保险槽与安全槽，可确保光开关的通断状态。本发明提供的一种基于90°圆弧光纤的移动式MOEMS光开关装置，可在微光机电安全系统中控制光纤光路，具有传输光路、保险、定位和驱动功能，优点如下：(1)集成度高、尺寸微小；(2)电磁兼容性优良；(3)传输效率高；(4)强度较高、稳定性好；(5)安全性能好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113204079A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110511479.5
申请日：2021-05-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种MOEMS光开关抗高过载结构的网格设计方法。包括以下内容：该光开关结构包含器件层(1)(包括输入光纤、输出光纤、可动式微镜、电热保险机构、电热驱动机构)、埋氧层(2)、衬底层(3)，其特征在于：将光开关的衬底层设计成镂空的网格形状，光开关结构中器件层的可动式微镜与衬底层之间有0.5μm的微小间隙，当光开关受到垂直器件层上表面的高过载冲击时，衬底层的抗过载网格可以有效的避免形变应力的集中、同时最大程度的减少受到的最大形变应力，有效保护器件层不会因高过载而发生变形，从而避免光开关结构的损坏。本发明对MOEMS光开关装置进行了结构优化设计，提高了光开关的抗高过载性能，推动了光开关在引信全电子安全系统中的运用。
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公开(公告)号：CN117538990A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202210914244.5
申请日：2022-08-01
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统，属于引信安全系统领域。主要由硅基MOEMS光开关装置，磁阻传感器，控制电路等组成。MOEMS光开关装置由输入光纤、输出光纤、可动式微镜、硅基后坐保险装置、电热拔销器、电热执行器组成。系统的开关通和断通过控制输入光纤、输出光纤和可动式微镜组成的侧壁反射光纤光路通和断实现，系统设计两道保险，第一道保险激励来自后坐过载环境，第二道保险激励来自地磁环境。本发明要解决的技术问题为：进一步提高微光机电安全系统的集成度并实现尺寸微小型化，解决引信系统的电磁干扰，提高电磁兼容性。具有以下优点：(1)结构尺寸微小；(2)电磁兼容性强。(3)抗过载能力强。
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公开(公告)号：CN117233896A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202210640164.5
申请日：2022-06-08
Applicant: 北京理工大学
IPC: G02B6/35
Abstract: 本发明公开的一种基于金属铂驱动的光开关装置，主要由输入光纤、输出光纤、可动微镜、电热保险机构、电热驱动器等结构组成。输入光纤和输出光纤分别与光发射管和光敏器件连接，固定光纤和可动微镜组成反射型光回路。电热保险机构作为一道保险，用于实现对可动微镜的安全、解保以及运动到位后的定位。电热驱动器用于解保后驱动可动微镜运动到位，实现光路通断状态的转换。可动微镜通过四根弹簧梁与光开关基体相连。要解决的技术问题为：解决弹药引信驱动系统在低电压环境中的安全性与可靠性问题，满足弹药引信微小型化、通用化和高可靠性的军事需求。具有以下优点：(1)结构尺寸小；(2)作用可靠；(3)制造成本低；(4)功率损耗小；(5)应用范围广。
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公开(公告)号：CN112735936A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202110005187.4
申请日：2021-01-04
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种电感耦合等离子体和聚焦离子束刻蚀的微镜侧壁加工方法。包括以下步骤：首先，利用电感耦合等离子体(ICP)技术对光开关加工，得到光开关样品；然后，利用聚焦离子束(FIB)技术对样品侧壁反射镜镜面二次刻蚀加工，具体有以下步骤：样品固定步骤，在聚焦离子束和电子束的双束系统中，将待加工样品固定在样品台上；加工参数选择步骤，选择合适的待加工区域和摸底实验区域，然后对摸底实验区域模拟加工，确定合适的加工参数；加工步骤，利用聚焦离子束对反射镜镜面刻蚀。基于电感耦合等离子体技术和聚焦离子束技术相结合的加工方法可以有效改善镜面的粗糙度，提高光路的传输效率。
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公开(公告)号：CN113916073B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202111369640.6
申请日：2021-11-16
Applicant: 北京理工大学
IPC: F42C15/40
Abstract: 本发明公开一种具有解保与驱动双功能的形状记忆合金MEMS安全系统，主要由后坐保险机构、隔爆滑块和形状记忆合金执行器组成，隔爆滑块上设计有后坐保险机构保险槽、形状记忆合金执行器保险槽、定位槽和驱动槽，形状记忆合金执行器分为保险机构和驱动机构。利用后坐保险机构卡入保险槽实现对隔爆滑块的第一道保险，利用形状记忆合金保险机构卡入保险槽实现对隔爆滑块的第二道保险，利用形状记忆合金驱动机构推动隔爆滑块运动到位。本发明要解决的技术问题为：实现小口径弹药微小型化和远距离安全解除保险的目标，具有以下优点：(1)结构尺寸小；(2)抗过载能力强；(4)低成本；(5)原理简单、作用速度快；(6)稳定性好，工作可靠。
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