公开(公告)号：CN116381275A

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202310454697.9

申请日：2023-04-25

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 代俊 ,  廉政 ,  才德 ,  谢晋 ,  熊壮 ,  赵宝林 ,  华泽 ,  张崇飞

IPC: G01P15/093 ,  G01P15/08

Abstract: 本发明公开一种基于光信号检测的MOEMS加速度计，属于加速度精准测量领域。主要由输入光纤1、输出光纤2、可动式微镜3组成，可动式微镜3由质量块3‑1、微弹簧3‑2和微反射镜3‑3组成。加速度计将外界输入的加速度信号转换为光信号。通过对输出光信号的精准检测，可以准确得到加速度过载。本发明要解决的技术问题为：进一步提高微光机电加速度计系统的集成度并实现尺寸微小型化。具有以下优点：(1)结构尺寸微小，(2)高灵敏度，(3)系统工作安全可靠。

公开(公告)号：CN220399470U

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202320960389.9

申请日：2023-04-25

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 代俊 ,  廉政 ,  才德 ,  谢晋 ,  熊壮 ,  赵宝林 ,  华泽 ,  张崇飞

IPC: G01P15/093 ,  G01P15/08

Abstract: 本发明公开一种基于光信号检测的MOEMS加速度计，属于加速度精准测量领域。主要由输入光纤1、输出光纤2、可动式微镜3组成，可动式微镜3由质量块3‑1、微弹簧3‑2和微反射镜3‑3组成。加速度计将外界输入的加速度信号转换为光信号。通过对输出光信号的精准检测，可以准确得到加速度过载。本发明要解决的技术问题为：进一步提高微光机电加速度计系统的集成度并实现尺寸微小型化。具有以下优点：(1)结构尺寸微小，(2)高灵敏度，(3)系统工作安全可靠。