公开(公告)号：CN112735936B

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202110005187.4

申请日：2021-01-04

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 代俊 ,  张崇飞 ,  徐浩然 ,  谢晋 ,  熊壮 ,  唐彬 ,  黄金红 ,  廖运来

IPC: H01J37/32 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及一种电感耦合等离子体和聚焦离子束刻蚀的微光开关加工方法。包括两个方面：首先，利用基于电感耦合等离子体(ICP)技术的双面ICP刻蚀工艺加工SOI晶圆得到反射镜表面粗糙度较大的微光开关；然后，利用基于聚焦离子束技术的加工工艺刻蚀微光开关反射镜表面，完成对反射镜表面的微细加工。基于电感耦合等离子体技术加工微光开关和聚焦离子束刻蚀微光开关反射镜表面相结合的工艺可以有效改善微光开关反射镜表面的粗糙度，提高光路的传输效率。

公开(公告)号：CN112735936A

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：CN202110005187.4

申请日：2021-01-04

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 代俊 ,  张崇飞 ,  徐浩然 ,  谢晋 ,  熊壮 ,  唐彬 ,  黄金红 ,  廖运来

IPC: H01J37/32 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及一种电感耦合等离子体和聚焦离子束刻蚀的微镜侧壁加工方法。包括以下步骤：首先，利用电感耦合等离子体(ICP)技术对光开关加工，得到光开关样品；然后，利用聚焦离子束(FIB)技术对样品侧壁反射镜镜面二次刻蚀加工，具体有以下步骤：样品固定步骤，在聚焦离子束和电子束的双束系统中，将待加工样品固定在样品台上；加工参数选择步骤，选择合适的待加工区域和摸底实验区域，然后对摸底实验区域模拟加工，确定合适的加工参数；加工步骤，利用聚焦离子束对反射镜镜面刻蚀。基于电感耦合等离子体技术和聚焦离子束技术相结合的加工方法可以有效改善镜面的粗糙度，提高光路的传输效率。