公开(公告)号：CN114920239B

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202210505230.8

申请日：2022-05-10

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 韩旭 ,  黄元 ,  张德成 ,  陈辉 ,  许自强 ,  丁鹏飞 ,  戴贇贇 ,  王业亮

IPC: C01B32/19 ,  C01B32/194 ,  C01B19/00 ,  C30B25/00 ,  C30B29/46

Abstract: 本发明实施例公开了一种基于水蒸气的二维材料转移或堆垛方法，包括：对衬底采用氧等离子体进行处理，在预处理后的衬底表面生成层状二维材料，得到预制复合基材；对预制复合基材表面旋涂转移介质后烘干，在其表面覆盖支撑凝胶，得到预制转移基材；将预制转移基材在水蒸气环境下进行熏蒸，获得转移基材；将转移基材上的预处理后的衬底剥离，得到转移基底；将转移基底转移至目标基底上，进行烘烤后，洗脱转移介质，完成二维材料的转移。通过上述方式，实现简单、高效、低污染地转移机械解理或者CVD生长制备的多种类二维材料，并降低科研中湿法转移引起的样品污染和屏蔽使用强酸/碱性溶液带来的危险性，从而降低科研成本，提高科研效率的效果。

公开(公告)号：CN114920239A

公开(公告)日：2022-08-19

申请号：CN202210505230.8

申请日：2022-05-10

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 韩旭 ,  黄元 ,  张德成 ,  陈辉 ,  许自强 ,  丁鹏飞 ,  戴贇贇 ,  王业亮

IPC: C01B32/19 ,  C01B32/194 ,  C01B19/00 ,  C30B25/00 ,  C30B29/46

Abstract: 本发明实施例公开了一种基于水蒸气的二维材料转移或堆垛方法，包括：对衬底采用氧等离子体进行处理，在预处理后的衬底表面生成层状二维材料，得到预制复合基材；对预制复合基材表面旋涂转移介质后烘干，在其表面覆盖支撑凝胶，得到预制转移基材；将预制转移基材在水蒸气环境下进行熏蒸，获得转移基材；将转移基材上的预处理后的衬底剥离，得到转移基底；将转移基底转移至目标基底上，进行烘烤后，洗脱转移介质，完成二维材料的转移。通过上述方式，实现简单、高效、低污染地转移机械解理或者CVD生长制备的多种类二维材料，并降低科研中湿法转移引起的样品污染和屏蔽使用强酸/碱性溶液带来的危险性，从而降低科研成本，提高科研效率的效果。