一种紧缩场平面扫描架的平面度补偿系统及方法

    公开(公告)号:CN104597841A

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201410790156.4

    申请日:2014-12-17

    CPC classification number: G05B19/404

    Abstract: 本发明公开一种紧缩场平面扫描架的平面度补偿系统及方法,该系统包括:激光平面发射器,用于通过以自身旋转的方式使发射的激光束形成激光平面;位置敏感探测器,用于实时检测激光平面与自身感应区零位的位置偏差并将其发送至控制器;控制器,用于根据位置偏差生成驱动电流驱动伺服补偿器;伺服补偿器,用于以带动位置敏感探测器共同调整位置的方式对扫描架平面度误差进行实时地闭环控制补偿。本发明所述技术方案,采用闭环控制策略,对扫描面末端进行动态补偿,可解决紧缩场平面扫描架在环境复杂或者测试过程周期较长的情况下,受机械加工,装配精度、温度、环境振动、重力等因素影响造成机械形变使扫描平面存在平面度误差的问题。

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