一种一体化MEMS惯性姿态敏感器结构

    公开(公告)号:CN104931050B

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201510303047.X

    申请日:2015-06-04

    Abstract: 本发明公开了一种一体化MEMS惯性姿态敏感器结构,包括MEMS陀螺、独立线路组件、母板组件,整机采用三个正交陀螺和一个斜装陀螺,四个陀螺安装于底座中心,其中斜装陀螺与三个正交陀螺夹角相等,三个正交陀螺的输入轴两两相互垂直,第四个陀螺为斜装式,其输入轴和与三个正交陀螺输入轴的夹角相等。四通道线路各自独立在MEMS陀螺四周,结构紧凑,避免陀螺信号通过长线传输带来的干扰。

    一种一体化MEMS惯性姿态敏感器结构

    公开(公告)号:CN104931050A

    公开(公告)日:2015-09-23

    申请号:CN201510303047.X

    申请日:2015-06-04

    CPC classification number: G01C21/16

    Abstract: 本发明公开了一种一体化MEMS惯性姿态敏感器结构,包括MEMS陀螺、独立线路组件、母板组件,整机采用三个正交陀螺和一个斜装陀螺,四个陀螺安装于底座中心,其中斜装陀螺与三个正交陀螺夹角相等,三个正交陀螺的输入轴两两相互垂直,第四个陀螺为斜装式,其输入轴和与三个正交陀螺输入轴的夹角相等。四通道线路各自独立在MEMS陀螺四周,结构紧凑,避免陀螺信号通过长线传输带来的干扰。

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