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公开(公告)号:CN105063730B
公开(公告)日:2017-04-19
申请号:CN201510410911.6
申请日:2015-07-14
Applicant: 北京大学东莞光电研究院
IPC: C25D17/20
Abstract: 本发明公开了一种电镀滚筒,包括筒体和轴承管,该筒体两端装有带齿的边板,轴承管沿筒体的轴线方向设置在筒体内,且该轴承管的两端穿过边板裸露在筒体外,轴承管与边板间为活动装接,筒体侧壁上设有流通孔,所述筒体内设有阳极板和支管,阳极板固定在支管尾端,该支管固定装接在轴承管上,阳极板与阳极线连接,筒体侧壁和边板均与阴极线连接,筒体内壁设有用于放置基板的卡槽机构。本发明能够对基板上的孤立金属线路图形进行直接加厚,提高电镀金属膜层的均匀性,缩短了工序流程,节约成本。
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公开(公告)号:CN105063730A
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201510410911.6
申请日:2015-07-14
Applicant: 北京大学东莞光电研究院
IPC: C25D17/20
Abstract: 本发明公开了一种电镀滚筒,包括筒体和轴承管,该筒体两端装有带齿的边板,轴承管沿筒体的轴线方向设置在筒体内,且该轴承管的两端穿过边板裸露在筒体外,轴承管与边板间为活动装接,筒体侧壁上设有流通孔,所述筒体内设有阳极板和支管,阳极板固定在支管尾端,该支管固定装接在轴承管上,阳极板与阳极线连接,筒体侧壁和边板均与阴极线连接,筒体内壁设有用于放置基板的卡槽机构。本发明能够对基板上的孤立金属线路图形进行直接加厚,提高电镀金属膜层的均匀性,缩短了工序流程,节约成本。
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