一种声场增强微结构的MEMS热式声粒子振速传感器及方法

    公开(公告)号:CN109916501A

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201910044032.4

    申请日:2019-01-17

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种声场增强微结构的MEMS热式声粒子振速传感器及方法。本发明采用片上集成的声场自增强通孔,在利用MEMS工艺加工加热测温横梁时同时完成声场自增强通孔的加工,无需使用宏观机械加工手段设计声场增强的封装结构,封装尺寸大幅缩小,拓宽了该传感器的应用范围;由于加热测温横梁与声场自增强通孔均由MEMS工艺统一加工,MEMS工艺具有极高的加工精度,因此该方法避免了传统传感器装配过程中,利用MEMS工艺制备的芯片与利用机械加工手段制备的封装结构之间的装配误差问题;由于本发明制造的传感器具有较小的尺寸,对待测声场的反射与散射很小,不会造成待测声场的畸变,实现单点精确测量。

    一种MEMS热式声粒子传感器

    公开(公告)号:CN107917750B

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN201610878685.9

    申请日:2016-10-08

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明(一种MEMS热式声粒子传感器)涉及微电子机械加工领域,尤其涉及一种MEMS热式声粒子传感器的设计方法。目前已有的MEMS热式声粒子传感器都是基于两线式流量计原理,自噪声较大,且高频特性较差。为解决这种问题,本发明提供了一种MEMS三线式热式声粒子传感器结构,可应用于声源定位。该传感器为三层悬臂梁结构,由上下极板粘接而成,包括左右两个正交平面的测量单元。每个测量单元上下两层各有两根感温电阻悬臂梁,中层有一根来自上极板或下极板的加热电阻悬臂梁。上下层的四根悬臂梁组成矩形,中层的悬臂梁位于矩形中心。加工步骤包括:每个测量单元的上下极板的正、反两面各制作三根悬臂梁,去掉上下极板中多余的悬臂梁,将上下极板粘接在一起。

    一种声场增强微结构的MEMS热式声粒子振速传感器及方法

    公开(公告)号:CN109916501B

    公开(公告)日:2020-05-05

    申请号:CN201910044032.4

    申请日:2019-01-17

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种声场增强微结构的MEMS热式声粒子振速传感器及方法。本发明采用片上集成的声场自增强通孔,在利用MEMS工艺加工加热测温横梁时同时完成声场自增强通孔的加工,无需使用宏观机械加工手段设计声场增强的封装结构,封装尺寸大幅缩小,拓宽了该传感器的应用范围;由于加热测温横梁与声场自增强通孔均由MEMS工艺统一加工,MEMS工艺具有极高的加工精度,因此该方法避免了传统传感器装配过程中,利用MEMS工艺制备的芯片与利用机械加工手段制备的封装结构之间的装配误差问题;由于本发明制造的传感器具有较小的尺寸,对待测声场的反射与散射很小,不会造成待测声场的畸变,实现单点精确测量。

    一种硅玻璃镶嵌结构微机械差分电容式压力计

    公开(公告)号:CN104502003A

    公开(公告)日:2015-04-08

    申请号:CN201510023318.6

    申请日:2015-01-19

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种微机械差分电容式压力计。该压力计的两个电容由4个电容极板组成:附于硅杯结构敏感膜片上的第一、第四极板与附于中间支撑层结构两表面的第二、第三极板。本压力计基于压力计结构中基本的硅杯结构,当压力作用于敏感膜片时,膜片变形,膜片通过中间支柱带动另一硅杯上膜片的移动,附于敏感膜片上的两极板也随之移动,改变了两个极板相对中间固定的极板之间的间距,从而使得上下两个电容的电容值发生变化,形成差动的信号输出。该压力计的制备工艺简单,可制备完全对称的差动结构,利用差动结构的优点,实现对压力的精确差动检测。

    高温压力传感器测试装置

    公开(公告)号:CN104568310B

    公开(公告)日:2017-11-17

    申请号:CN201510023317.1

    申请日:2015-01-19

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明本发明公开了一种超高温度时压力传感器的测试装置,包括一端封闭另一端开放的不锈钢管1,热电阻2,三通接头5,航空插头6组成的密封测试部分,用于提供高温压力传感器测试所需的密封环境;电炉7组成的加热部分,用于提供高温压力传感器测试所需的高温环境;真空泵9,氮气瓶10,气压控制器11组成的气压控制部分,用于提供压力传感器测试过程中所需要的不同的、稳定的气压;恒定电压/流源12,万用表13,万用表14,计算机15组成的电信号测量控制部分,用于提供测试数据的采集以及信号控制。本发明提供了一种高温压力传感器的测试装置,能够为高温压力传感器的测试提供高温(不低于600℃)、密封、可靠的测试环境。

    一种MEMS热式声粒子传感器

    公开(公告)号:CN107917750A

    公开(公告)日:2018-04-17

    申请号:CN201610878685.9

    申请日:2016-10-08

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明(一种MEMS热式声粒子传感器)涉及微电子机械加工领域,尤其涉及一种MEMS热式声粒子传感器的设计方法。目前已有的MEMS热式声粒子传感器都是基于两线式流量计原理,自噪声较大,且高频特性较差。为解决这种问题,本发明提供了一种MEMS三线式热式声粒子传感器结构,可应用于声源定位。该传感器为三层悬臂梁结构,由上下极板粘接而成,包括左右两个正交平面的测量单元。每个测量单元上下两层各有两根感温电阻悬臂梁,中层有一根来自上极板或下极板的加热电阻悬臂梁。上下层的四根悬臂梁组成矩形,中层的悬臂梁位于矩形中心。加工步骤包括:每个测量单元的上下极板的正、反两面各制作三根悬臂梁,去掉上下极板中多余的悬臂梁,将上下极板粘接在一起。

    高温压力传感器测试装置

    公开(公告)号:CN104568310A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201510023317.1

    申请日:2015-01-19

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种超高温度时压力传感器的测试装置,包括一端封闭另一端开放的不锈钢管1,热电阻2,三通接头5,航空插头6组成的密封测试部分,用于提供高温压力传感器测试所需的密封环境;电炉7组成的加热部分,用于提供高温压力传感器测试所需的高温环境;真空泵9,氮气瓶10,气压控制器11组成的气压控制部分,用于提供压力传感器测试过程中所需要的不同的、稳定的气压;恒定电压/流源12,万用表13,万用表14,计算机15组成的电信号测量控制部分,用于提供测试数据的采集以及信号控制。本发明提供了一种高温压力传感器的测试装置,能够为高温压力传感器的测试提供高温(不低于600℃)、密封、可靠的测试环境。

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