公开(公告)号：CN106158512A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201510163239.5

申请日：2015-04-08

Applicant: 北京大学

Inventor： 徐纯纯 ,  陈兢 ,  张轶铭 ,  宋璐 ,  陈献

IPC: H01H50/00 ,  H01H59/00 ,  H01H49/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  H01H49/00 ,  H01H50/005

Abstract: 本发明涉及一种金属钼基微继电器及其制备方法。该金属钼基微继电器，包括作为弹性回复结构的单端固支悬臂梁，连接该单端固支悬臂梁的静电驱动梳齿结构，以及靠近该单端固支悬臂梁一端的触头，所述单端固支悬臂梁、梳齿结构和触头的材料为金属钼。本发明首次以金属钼作为体材料设计静电驱动微继电器，不仅能很好的解决接触电阻问题，还可以减小系统失效。金属钼基微继电器具有很高的可靠性，可广泛应用于消费类电子、医疗保健、汽车工业、工业自动化及机器人、航空航天、以及物联网领域等。