公开(公告)号：CN107497654A

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201710683049.5

申请日：2017-08-10

Applicant: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)

Inventor： 黄晓鹏 ,  李俊红 ,  张乾 ,  任伟 ,  廉国选 ,  陈秋颖 ,  何健全

IPC: B06B1/06 ,  H01L41/04 ,  H01L41/27

CPC classification number: B06B1/0633 ,  H01L41/04 ,  H01L41/27

Abstract: 本发明公开了一种用于超声扫描显微镜的高频换能器及其制备方法，该高频换能器包括基底，设置在基底背部的吸声层及透声层，设置在基底正面的底电极、压电层及顶电极；基底背部设置有聚焦球面，透声层设置在聚焦球面上；底电极设置在基底的正面上，压电层设置在底电极与顶电极之间，压电层与顶电极之间还设置有低温隔离层。与现有技术相比，本申请结构合理，制备工艺简单，采用低温隔离层，降低了压电薄膜的针孔等缺陷，提高了压电薄膜的电阻率，降低了换能器的电容值，使高频换能器中发射电压的加载更加容易；采用吸声层结构较为彻底的吸收了导声柱聚焦球面的外反射声波，从而消除了发射声波对显微成像的干扰，提高了超声扫描显微镜的检测精度。

公开(公告)号：CN107091881B

公开(公告)日：2019-09-24

申请号：CN201710436901.9

申请日：2017-06-09

Applicant: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)

Inventor： 邓胜强 ,  黄晓鹏 ,  程秀全 ,  郑佳晶 ,  宋婉贞 ,  谭立杰 ,  雒晓文

IPC: G01N29/06

Abstract: 本发明涉及一种高分辨率超声扫描显微镜的加速处理方法，包括步骤：设置超声扫描参数，启动扫描流程；开辟两个线程以并行方式进行大规模超声数据的采集和处理，数据采集通过设置专用超声数据门的方式，针对感兴趣区域的超声回波信号进行采集，数据处理通过直接内存存取DMA技术高速读取并实时简化单个采样点的超声A波形数据；扫描结束后，将每个扫描点简化后的超声成像关键数据合并，通过设置的图像生成方式形成对应的超声扫描图像；通过实时抽样方法将大尺寸超声图像转换为显示控件大小再进行实时显示。本发明能够加速高分辨超声扫描显微镜扫描过程中对海量超声数据的采集和处理，使整个系统具有极高的实时性。

公开(公告)号：CN107091881A

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201710436901.9

申请日：2017-06-09

Applicant: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)

Inventor： 邓胜强 ,  黄晓鹏 ,  程秀全 ,  郑佳晶 ,  宋婉贞 ,  谭立杰 ,  雒晓文

IPC: G01N29/06

Abstract: 本发明涉及一种高分辨率超声扫描显微镜的加速处理方法，包括步骤：设置超声扫描参数，启动扫描流程；开辟两个线程以并行方式进行大规模超声数据的采集和处理，数据采集通过设置专用超声数据门的方式，针对感兴趣区域的超声回波信号进行采集，数据处理通过直接内存存取DMA技术高速读取并实时简化单个采样点的超声A波形数据；扫描结束后，将每个扫描点简化后的超声成像关键数据合并，通过设置的图像生成方式形成对应的超声扫描图像；通过实时抽样方法将大尺寸超声图像转换为显示控件大小再进行实时显示。本发明能够加速高分辨超声扫描显微镜扫描过程中对海量超声数据的采集和处理，使整个系统具有极高的实时性。