一种微型封装式电离规
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109767970A

    公开(公告)日:2019-05-17

    申请号:CN201811481693.5

    申请日:2018-12-05

    Abstract: 本发明提供了一种微型封装式电离规,包括场发射阴极、门极、阳极组件、收集极及封装外壳;场发射阴极设置在封装外壳底端,所述场发射阴极、门极、阳极组件及收集极共轴设置,电极与电极之间绝缘;所述收集极为栅网结构,与封装外壳顶端固定连接,用于接收离子流,同时与真空环境导通引入气体分子;门极为场发射阴极提供引出电场,场发射电子进入阳极组件后,在阳极组件形成局部马鞍形电场,场发射电子在阳极组件内往复振荡并电离气体分子,电离后产生的离子流被收集极接收。本发明能够克服高温热阴极效应,同时提高灵敏度,延伸测量下限。

    一种便携式动态比较正压漏孔校准装置及方法

    公开(公告)号:CN108593216A

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201810257837.2

    申请日:2018-03-27

    Abstract: 本发明涉及一种便携式动态比较正压漏孔校准装置及方法,属于测量领域。所述装置包括十个阀门、参考正压漏孔、两个温度传感器、稳压室、毛细管、限流小孔、恒温室、待校准正压漏孔、质谱计、机械泵、分子泵、质谱分析室以及四个真空计;质谱分析室内中部设有限流小孔;机械泵和分子泵构成抽真空系统。还提供了一种基于所述装置的校准方法。通过设计恒温室,减小了不同时间参考正压漏孔与待校准正压漏孔气体累积时不同的温度对待校准正压漏孔校准可能的影响,保证校准准确度;稳压室体积小,重量低;参考正压漏孔与待校准正压漏孔累积的气体膨胀后用毛细管衰减压力,可满足分子流动态进样条件,所述装置和方法可以实现正压漏孔的现场校准。

    一种检漏仪器的多通道快速校准装置及方法

    公开(公告)号:CN105181269B

    公开(公告)日:2018-01-09

    申请号:CN201510419091.7

    申请日:2015-07-16

    Abstract: 本发明公开了一种检漏仪器的多通道快速校准装置。使用本发明能够实现对多台检漏仪器的同时校准,且校准范围较宽,校准速度快、精度高,并能满足对多种示漏气体的校准。本发明包括供气系统、针阀、截止阀、压力计、稳压室、抽气系统、N个小孔、比较室和M个待校准检漏仪器,稳压室内的气体通过不同的截止阀与对应的小孔的入口连接,小孔的出口通过各自对应的截止阀与比较室连接,M个待校准的检漏仪器通过各自对应的截止阀与比较室连接;通过改变截止阀的状态,获得检漏仪器在多个标准流量下的检测值,进而获得精度更高的校准系数,且能够实现对多台捡漏仪器的同时校准,校准效率高。

    主动式空间电场探测传感器内置电路

    公开(公告)号:CN105158586A

    公开(公告)日:2015-12-16

    申请号:CN201510576446.3

    申请日:2015-09-11

    Abstract: 本发明公开了一种主动式空间电场探测传感器内置电路,包括电路板,电路板上设有第一电势信号输入口、第二电势信号输入口、第一输入电阻绝缘保护块、第二输入电阻绝缘保护块、输入保护电阻、第一保护二极管、第二保护二极管、第一运算放大器、第二运算放大器、输出保护电阻、电势输出口、第一分压电阻、第二分压电阻、偏置电流控制信号入口、滤波RC电路和电压-电流转换电阻,第一电势信号输入口和第二电势信号输入口为悬浮相互隔离地设置。本发明具有体积小、重量轻、检测精度高,可在宇航特种环境下高可靠性工作的特点,其传感器电势探测精度可达0.3uV(DC~16Hz)、输出偏置电力精度可达10pA的技术指标。

    一种宽频带高均温微波辐射定标黑体

    公开(公告)号:CN119935321A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202510111750.4

    申请日:2025-01-22

    Abstract: 本申请涉及微波遥感技术领域,具体而言,涉及一种宽频带高均温微波辐射定标黑体,包括外罩、保温材料、柔性加热器、金属传热板、吸波涂层、电连接器以及测温铂电阻,其中:外罩整体由掏铣加工而成,内部形成楔形腔;金属传热板环绕楔形腔壁面设置;金属传热板为平面结构,正面进行喷砂处理;柔性加热器粘贴在金属传热板的背面;吸波涂层喷涂在金属传热板的正面;保温材料填充在外罩与柔性加热器之间;电连接器设置在外罩上;测温铂电阻粘贴在金属传热板的背面。本申请采用涂覆吸波涂层的平板结构拼装,结构简单,重量和体积优化空间较大,便于加工和维护,有效解决了黑体的温度均匀性和稳定性问题,大幅提高微波辐射计定标精度。

    一种便携式动态比较正压漏孔校准装置及方法

    公开(公告)号:CN108593216B

    公开(公告)日:2020-06-23

    申请号:CN201810257837.2

    申请日:2018-03-27

    Abstract: 本发明涉及一种便携式动态比较正压漏孔校准装置及方法,属于测量领域。所述装置包括十个阀门、参考正压漏孔、两个温度传感器、稳压室、毛细管、限流小孔、恒温室、待校准正压漏孔、质谱计、机械泵、分子泵、质谱分析室以及四个真空计;质谱分析室内中部设有限流小孔;机械泵和分子泵构成抽真空系统。还提供了一种基于所述装置的校准方法。通过设计恒温室,减小了不同时间参考正压漏孔与待校准正压漏孔气体累积时不同的温度对待校准正压漏孔校准可能的影响,保证校准准确度;稳压室体积小,重量低;参考正压漏孔与待校准正压漏孔累积的气体膨胀后用毛细管衰减压力,可满足分子流动态进样条件,所述装置和方法可以实现正压漏孔的现场校准。

    一种MEMS电容薄膜真空规
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109632181A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201811565352.6

    申请日:2018-12-20

    CPC classification number: G01L21/00

    Abstract: 本发明提供了一种MEMS电容薄膜真空规,能够实现1~1000Pa范围真空度的测量,测量分辨率为0.5Pa。感压薄膜为具有岛状结构膜的圆形薄膜。圆形薄膜在径向应力以及应变非常均匀,在相同压力下,圆膜的挠度比方膜更大,从而使得感压薄膜的灵敏度更高。而岛状结构膜可以增大薄膜的刚度,进而降低感压薄膜的挠度,增大基础电容,有利于提高分辨率同时,使得压力‑电容关系的线性度更优。同时,具有岛状结构膜的圆形薄膜为双侧电极差动式敏感电容结构,使得感压薄膜因压力产生形变时,敏感电容输出变化量相等、方向相反的两个电容量,再通过后续差分测量电路构成双差分结构,从而提高共模抑制比,消除寄生电容以及温度等因素对测量结果的影响,提高测量的分辨率。

    一种用于多量级正压漏孔校准的高精度体积测量方法

    公开(公告)号:CN105043489B

    公开(公告)日:2018-03-23

    申请号:CN201510410456.X

    申请日:2015-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种用于多量级正压漏孔校准的高精度体积测量方法,将安装可开闭阀门的外接容器接入正压漏孔校准系统;根据被测容积的数量级,选择同样数量级的标准体积;外接容器内先不放入标准体积,采用气体膨胀法,测量被测容积真空状态下的压力和温度,以及膨胀进入气体后的压力和温度;将标准体积放入外接容器后,测量膨胀进入气体前后的被测容积压力和温度;利用上述数据和依据根据理想状态方程构建的关系式,计算出被测容积。本发明可以根据被测体积更换标准体积,避免了体积相差过大带来的测量不确定度,而且采用气体膨胀法和理想状态方程计算被测体积,计算公式中含有温度修正,进一步提高了体积测量的准确性。

    一种真空系统内电极间距可调的场致发射测试装置及方法

    公开(公告)号:CN109613064A

    公开(公告)日:2019-04-12

    申请号:CN201811367414.2

    申请日:2018-11-16

    Abstract: 本发明公开了一种真空系统内电极间距可调的场致发射测试装置及方法,包括电流表、真空系统和放置其中的场致发射材料固定座、螺旋测微器、螺旋测微器支撑座、套筒、方键传动轴、步进电机和底座;场致发射材料固定座、螺旋测微器支撑座和步进电机固定在底座上;场致发射材料固定在场致发射材料固定座;螺旋测微器固定在螺旋测微器支撑座的通孔内,使其测杆端朝向场致发射材料,其旋转端与方键传动轴的一端通过套筒固定连接;螺旋测微器上电连接引出线A,其引出真空系统后接设定电压;方键传动轴的另一端与步进电机的转轴连接;场致发射材料固定座为导体;场致发射材料固定座上电连接引出线B再引出真空系统后串接电流表再接大地。

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