-
公开(公告)号：CN107355681B
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201710729353.9
申请日：2017-08-23
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于多工质气体微流量校准的供气装置及供气方法，该供气装置由多个高压气瓶并联而成的储气系统用于提供多种校准气体，能够提供与工质实际气体相符的校准气体；通过电气路转换器和稳压系统来确保校准气体的进出口压力，使得提供的校准气体与工质气体实际压力一致，更加符合实际工况，对工质气体微流量校准更为精确。本发明能够提供与工质实际气体相符的校准气体，同时提供的校准气体压力与工质气体实际压力一致；供气方法简单可行，易操作。
-
公开(公告)号：CN107843391A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201710852196.0
申请日：2017-09-19
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01L27/00
CPC classification number: G01L27/002
Abstract: 本发明公开了一种小漏率正压漏孔校准装置及方法。使用本发明能够实现采用恒压法与定量气体比对法校准正压漏孔，实现小漏率正压漏孔的精确校准。本发明的校准装置能够实现在同一装置上同时采用恒压法与定量气体比对法校准正压漏孔，正压漏孔免于拆卸，环境条件可以基本保持一致，时间的接近程度也得到了保证，确保了两种方法校准结果的一致性，通过对两种方法校准结果的比较，可以得到正压漏孔的精确校准值，可以解决国际上无法精确校准10-8Pam3/s量级正压漏孔的问题。
-
公开(公告)号：CN106442214B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201610796215.8
申请日：2016-08-31
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01N7/16
Abstract: 本发明涉及一种基于热阴极规的静态升压法材料放气率测量装置及方法，属于测量领域。所述装置中：高真空样品室、第一真空阀门、第一、二小孔、第一、二分子泵和干泵依次通过真空管路串联连接；热阴极电离规B或质谱计连接在第一、二小孔间的真空管路上；电阻真空规连接在第二小孔和第一分子泵间的真空管路上；第二真空阀门两端分别通过真空管路与第一真空阀门出口和第一分子泵入口相连；热阴极电离规A连接在第一、二真空阀门之间的真空管路上。通过采用所述装置间接测量待测气体压强，可有效解决热阴极电离规或质谱计对待测气体具有抽速，直接用于静态定容升压法测量材料放气率时存在显著误差的问题，提高测量精确度。
-
公开(公告)号：CN109632181A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811565352.6
申请日：2018-12-20
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01L21/00
CPC classification number: G01L21/00
Abstract: 本发明提供了一种MEMS电容薄膜真空规，能够实现1～1000Pa范围真空度的测量，测量分辨率为0.5Pa。感压薄膜为具有岛状结构膜的圆形薄膜。圆形薄膜在径向应力以及应变非常均匀，在相同压力下，圆膜的挠度比方膜更大，从而使得感压薄膜的灵敏度更高。而岛状结构膜可以增大薄膜的刚度，进而降低感压薄膜的挠度，增大基础电容，有利于提高分辨率同时，使得压力‑电容关系的线性度更优。同时，具有岛状结构膜的圆形薄膜为双侧电极差动式敏感电容结构，使得感压薄膜因压力产生形变时，敏感电容输出变化量相等、方向相反的两个电容量，再通过后续差分测量电路构成双差分结构，从而提高共模抑制比，消除寄生电容以及温度等因素对测量结果的影响，提高测量的分辨率。
-
公开(公告)号：CN112781756A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202011444346.2
申请日：2020-12-11
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明公开了一种减小感压薄膜焊接应力的电容压力传感器，通过增加了感压薄膜专用机架，并将感压薄膜与感压薄膜专用机架独立焊接，独立结构的感压薄膜机架与上下机架体接触部分少，受到机架体的热冲击及机械振动影响较小，因此消除了传统结构感压薄膜与机架之间的二次焊接应力，改善了因机械应力、温度等引起的感压薄膜与金属外壳之间的应力对测量的影响，显著减小了感压薄膜与金属外壳边缘之间产生的寄生电容，提高了电容薄膜压力计测量精度。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112763129A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202011453071.9
申请日：2020-12-11
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01L9/12
Abstract: 本发明公开了一种绝压接触式MEMS电容薄膜真空计，采用接触式结构能够使真空计的测量曲线，即真空度‑电容曲线具有分段线性的特点，解决了感压薄膜大挠度变形非线性的问题，提升了真空计的测量性能；同时，接触式结构可以防止感压薄膜在高压力作用下受到破坏，提高真空规的测量范围。
-
公开(公告)号：CN109752139B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201811534398.1
申请日：2018-12-14
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01M3/00
Abstract: 本发明公开了一种氮氢混合气体真空漏孔校准装置，包括氢气和氮气供气系统，配气室，压力计，取气室，低真空泵，进气室，真空计，高真空泵，渗流装置，质谱计，非蒸散型吸气剂泵，校准系统，抽气系统；配气室上设置压力计；配气室分出两路，一路与取气室和进气室相连；另一路通过管路与高真空泵相连，在配气室和高真空泵之间设置氢气和氮气供气系统及低真空泵；高真空泵和进气室连接；进气室通过管路依次与渗流装置、校准系统、抽气系统相连；在进气室上分别设置压力计和真空计；在渗流装置和校准系统之间设置截止阀；氮氢混合气体真空漏孔连接在校准系统上；校准系统上设置压力计、真空计和质谱计；非蒸散型吸气剂泵连在校准系统上。
-
公开(公告)号：CN109752139A
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201811534398.1
申请日：2018-12-14
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01M3/00
Abstract: 本发明公开了一种氮氢混合气体真空漏孔校准装置，包括氢气和氮气供气系统，配气室，压力计，取气室，低真空泵，进气室，真空计，高真空泵，渗流装置，质谱计，非蒸散型吸气剂泵，校准系统，抽气系统；配气室上设置压力计；配气室分出两路，一路与取气室和进气室相连；另一路通过管路与高真空泵相连，在配气室和高真空泵之间设置氢气和氮气供气系统及低真空泵；高真空泵和进气室连接；进气室通过管路依次与渗流装置、校准系统、抽气系统相连；在进气室上分别设置压力计和真空计；在渗流装置和校准系统之间设置截止阀；氮氢混合气体真空漏孔连接在校准系统上；校准系统上设置压力计、真空计和质谱计；非蒸散型吸气剂泵连在校准系统上。
-
公开(公告)号：CN114326482B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202111472284.0
申请日：2021-12-06
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G05B19/042 , G01L21/30
Abstract: 本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种真空计控制系统，包括高压电源模块、微弱离子流检测模块、控制板、以及人机交互界面，其中：高压电源模块与微弱离子流检测模块、控制板、以及人机交互界面分别连接，为微弱离子流检测模块、控制板、以及人机交互界面供电；高压电源模块与控制板之间、微弱离子流检测模块与控制板之间、控制面板与人机交互界面之间分别通讯，进行信息交互。本申请的真空计控制系统，电压电流输出控制精度高、灯丝发射控制精确高、微弱电流采集精度高，真正实现10‑9Pa的测量下限，满足不同电离真空计的控制要求。
-
公开(公告)号：CN118347658A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410717425.8
申请日：2024-06-04
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01M3/26
Abstract: 本申请涉及一种真空全压力与漏率综合校准影响因素测量装置及方法，包括：真空漏孔、静态膨胀系统、第一电容薄膜真空计、第二电容薄膜真空计、第一温度控制系统、第二温度控制系统、第三温度控制系统、多个真空阀门、充气系统、材料测试系统、质谱计、质谱室、抽气系统。本申请所述的一种真空全压力与漏率综合校准影响因素测量装置及方法，可以开展温度、材料出气率、质谱计线性等对真空全压力和漏率影响因素的测量；本申请充分考虑真空全压力与漏率综合校准影响因素，设计出了一套能够实现多个影响因素测量的装置，通过温度变化、材料出气率、质谱计线性等影响因素的测量，为真空全压力与漏率综合校准下限延伸及量限拓展提供了重要依据与保障。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
13
records
(took 0.046 seconds)
