基板收纳容器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102473664A

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN201080030867.1

    申请日:2010-06-28

    CPC classification number: G03F1/66 H01L21/67366 H01L21/67373 H01L21/67389

    Abstract: 提供一种能够降低吸湿性及水分透过性、抑制基板的有机污染的便宜的基板收纳容器。具备将多片半导体晶片整齐排列收纳的前开盒型的容器主体(1)、和经由密封用的衬垫拆装自如地嵌合在该容器主体(1)的开口的正面(6)上的盖体(20),将这些容器主体(1)和盖体(20)用含有吸水率为0.1%以下、在80℃下加热24小时而通过动态顶空法测量的总脱气量为15ppm以下的合成树脂的成形材料分别注射成形。使成形材料的合成树脂为从环烯聚合物、液晶聚合物、聚醚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、或聚对苯二甲酸乙二醇酯中选择的至少一种、或者它们的合金树脂。

    基板收纳容器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112005358A

    公开(公告)日:2020-11-27

    申请号:CN201980026613.3

    申请日:2019-04-17

    Inventor: 小川统

    Abstract: 本发明涉及一种基板收纳容器,能够确保相对于内部的正压的密封性,并且减少由于盖体的开闭引起的摩擦而产生的颗粒。基板收纳容器具备:容器主体,用于收纳基板;以及盖体,用于封闭容器主体的开口;其中,容器主体中的开口的周围的第一部位和盖体中的与第一部位相对的第二部位是非接触地配合,以形成曲径式密封结构。

    基板收存容器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102792435B

    公开(公告)日:2015-07-22

    申请号:CN201180012344.9

    申请日:2011-02-24

    Inventor: 小川统

    CPC classification number: H01L21/67379

    Abstract: 一种基板收存容器,在半导体晶片收存用的容器主体的顶棚上设置安装机构,在安装机构上拆装自如地安装作为运送零件的机器人凸缘,安装机构具备在顶棚上成对设置的多对支承轨道、设在顶棚上的多个导引片、和形成在各导引片上的干涉卡合部,将导引片和干涉卡合部组合,将其前部形成为两股部。此外,运送零件具备支承在多对支承轨道间的零件主体,在零件主体上穿孔流体用的流通口,并且内置与两股部干涉的可弹性变形的弹性卡合片。

    保持器以及基板收纳容器

    公开(公告)号:CN101855716B

    公开(公告)日:2012-07-11

    申请号:CN200880115139.3

    申请日:2008-10-30

    Inventor: 小川统

    CPC classification number: H01L21/67369

    Abstract: 本发明提供一种保持器和基板收纳容器。保持器由以下部分形成:装配在基板收纳容器的盖体的背面中央部的框体;从该框体的一对对置件突出并相互接近的一对第一弹性件;以及支承于该一对第一弹性件的弯曲的自由端部并用于保持半导体晶片的第二弹性件。另外,相比于第一弹性件的自由端部,第二弹性件的外侧端部位于靠框体的对置件的外侧,保持半导体晶片的前部周缘的多个第一、第二保持部隔开间隔地形成,第二保持部的位置比第一保持部靠第二弹性件的外侧端部侧。

    收纳容器及其制造方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115668476A

    公开(公告)日:2023-01-31

    申请号:CN202180041454.1

    申请日:2021-07-01

    Abstract: 提供能够使所成形的容器的强度或气密性提高的收纳容器及其制造方法。是以利用含有既定树脂的成形材料插入成形的容器主体1的插入部件作为功能树脂构件的收纳容器,使功能树脂构件为带有多个支撑片12的侧壁板20,侧壁板20具有:厚壁部21,其具有与容器主体1的侧壁11的壁厚同等以上的壁厚;和薄壁接合部22,其形成于该厚壁部21的周缘并夹持且接合于容器主体1的周壁2。在对容器主体1进行插入成形的情况下,使容器主体1的大部分的周壁2与侧壁板20的薄壁接合部22啮合而接合,扩大它们的接触面积。因此,能够排除容器主体1的侧壁11中的侧壁板20周缘部附近的机械强度或泄漏性的下降,能够防止容器主体1的周壁2与侧壁板20的分离。

    基板收纳容器
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106537574B

    公开(公告)日:2020-06-05

    申请号:CN201580040567.4

    申请日:2015-07-21

    Abstract: 提供能够将容器本体内的空气效率良好地置换为基板用保护气体的基板收纳容器。具备:容器本体1,其能够收纳多片半导体晶片W;供气阀,其对容器本体1内供给吹扫气体;以及气体置换单元40,其将来自供气阀的吹扫气体吹出到容器本体1内,将容器本体1形成为前方开口盒并将供气阀装配于其底板6的后部,由贮留来自供气阀的吹扫气体的壳体41、以及覆盖壳体41的开口了的正面42的盖52构成气体置换单元40,将壳体41的下部以吹扫气体流通的方式连接于供气阀,并且使容器本体1的背面壁18支撑壳体41的上部,在壳体41和盖52中的任一者穿孔将吹扫气体向容器本体1的正面2方向吹出的多个吹出孔55。

    基板收纳容器
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112005358B

    公开(公告)日:2024-12-24

    申请号:CN201980026613.3

    申请日:2019-04-17

    Inventor: 小川统

    Abstract: 本发明涉及一种基板收纳容器,能够确保相对于内部的正压的密封性,并且减少由于盖体的开闭引起的摩擦而产生的颗粒。基板收纳容器具备:容器主体,用于收纳基板;以及盖体,用于封闭容器主体的开口;其中,容器主体中的开口的周围的第一部位和盖体中的与第一部位相对的第二部位是非接触地配合,以形成曲径式密封结构。

    基板收纳容器
    8.
    发明公开
    基板收纳容器 审中-实审

    公开(公告)号:CN117063270A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202280022774.7

    申请日:2022-01-07

    Abstract: 本发明为一种基板收纳容器,其具备:能够收纳基板(W)的容器主体;以及盖体(20),用于封闭容器主体的开口;以及保持器(50),其被安装于盖体(20);以及左右一对基板支承部件(55),其形成于保持器(50),与容器主体夹持基板(W)并进行保持;其中,基板支承部件(55)在从与盖体(20)的封闭方向正交的上下方向的剖面视图中为圆弧形状。此外,基板支承部件(55)与从上下两端所立设的一对基板引导部件(56)形成U形槽。由此,能够提供一种即使基板的厚度不同也能够稳定地保持基板的基板收纳容器。

    基板收纳容器
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111247632B

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN201880068270.2

    申请日:2018-09-18

    Inventor: 小川统

    Abstract: 本发明提供一种基板收纳容器,其具备:容器主体(2),其在前表面具有由开口框(2a)形成的开口部,并且能够收纳两片以上的基板(W);以及盖体,其封闭开口部;其中,容器主体(2)是包含开口框(2a)、背面壁(2b)、右侧壁(2c)、左侧壁(2d)、顶面壁(2e)以及底面壁(2f)的箱状,各壁(2b~2f)为,前表面的开口框(2a)侧的壁厚比背面壁(2b)侧的壁厚薄(t1>t2>t3>t4)。由此,提供一种能够提高容器主体的尺寸稳定性的形状的基板收纳容器。

    基板收纳容器
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104520984B

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201380011256.6

    申请日:2013-04-01

    CPC classification number: H01L21/67393 H01L21/67366

    Abstract: 本发明提供一种基板收纳容器,其在被清洁后,也能够长时间将内部封闭空间的相对湿度维持在低湿度。上述基板收纳容器(1)中,作为区划内部封闭空间(3)的构成部件的外壳主体(2)、门(4)以及开闭阀(8)的构成材料,是一种吸水率在0.1重量百分数以下的特殊构成材料,上述吸水率是在23℃的水中经过24小时浸泡后测定所得。从而,按照JIS K7209规格,或者ISO62规格的标准,使外壳主体(2)、门(4)以及开闭阀(8)的水分放出抑制能力能够满足客观的现实需求,显著地抑制水分自上述构成部件释放至内部封闭空间3中。

Patent Agency Ranking