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公开(公告)号:CN106537574A
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:CN201580040567.4
申请日:2015-07-21
Applicant: 信越聚合物株式会社
IPC: H01L21/673 , B65D85/86
Abstract: 提供能够将容器本体内的空气效率良好地置换为基板用保护气体的基板收纳容器。具备:容器本体1,其能够收纳多片半导体晶片W;供气阀,其对容器本体1内供给吹扫气体;以及气体置换单元40,其将来自供气阀的吹扫气体吹出到容器本体1内,将容器本体1形成为前方开口盒并将供气阀装配于其底板6的后部,由贮留来自供气阀的吹扫气体的壳体41、以及覆盖壳体41的开口了的正面42的盖52构成气体置换单元40,将壳体41的下部以吹扫气体流通的方式连接于供气阀,并且使容器本体1的背面壁18支撑壳体41的上部,在壳体41和盖52中的任一者穿孔将吹扫气体向容器本体1的正面2方向吹出的多个吹出孔55。
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公开(公告)号:CN115668476A
公开(公告)日:2023-01-31
申请号:CN202180041454.1
申请日:2021-07-01
Applicant: 信越聚合物株式会社
IPC: H01L21/673 , B65D85/86
Abstract: 提供能够使所成形的容器的强度或气密性提高的收纳容器及其制造方法。是以利用含有既定树脂的成形材料插入成形的容器主体1的插入部件作为功能树脂构件的收纳容器,使功能树脂构件为带有多个支撑片12的侧壁板20,侧壁板20具有:厚壁部21,其具有与容器主体1的侧壁11的壁厚同等以上的壁厚;和薄壁接合部22,其形成于该厚壁部21的周缘并夹持且接合于容器主体1的周壁2。在对容器主体1进行插入成形的情况下,使容器主体1的大部分的周壁2与侧壁板20的薄壁接合部22啮合而接合,扩大它们的接触面积。因此,能够排除容器主体1的侧壁11中的侧壁板20周缘部附近的机械强度或泄漏性的下降,能够防止容器主体1的周壁2与侧壁板20的分离。
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公开(公告)号:CN106537574B
公开(公告)日:2020-06-05
申请号:CN201580040567.4
申请日:2015-07-21
Applicant: 信越聚合物株式会社
IPC: H01L21/673 , B65D85/86
Abstract: 提供能够将容器本体内的空气效率良好地置换为基板用保护气体的基板收纳容器。具备:容器本体1,其能够收纳多片半导体晶片W;供气阀,其对容器本体1内供给吹扫气体;以及气体置换单元40,其将来自供气阀的吹扫气体吹出到容器本体1内,将容器本体1形成为前方开口盒并将供气阀装配于其底板6的后部,由贮留来自供气阀的吹扫气体的壳体41、以及覆盖壳体41的开口了的正面42的盖52构成气体置换单元40,将壳体41的下部以吹扫气体流通的方式连接于供气阀,并且使容器本体1的背面壁18支撑壳体41的上部,在壳体41和盖52中的任一者穿孔将吹扫气体向容器本体1的正面2方向吹出的多个吹出孔55。
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