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公开(公告)号：CN104303104A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201380015762.2
申请日：2013-02-22
Applicant: 佳能纳米技术公司 , 分子制模股份有限公司
Inventor： 崔炳镇 , S·H·安 , M·加纳帕斯苏伯拉曼尼安 , M·N·米勒 , S·V·斯里尼瓦桑
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B29C59/026 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 提供了使用压印光刻技术用于图案化分配在柔性衬底或平坦衬底上的可聚合材料的方法和系统。还呈现了模板复制方法和系统，其中来自主模板的图案被转印到柔性衬底以形成柔性薄膜模板。这样的柔性薄膜模板则被用来图案化大面积平坦衬底。可通过模板和衬底之间的相对平移来发起和传播压印模板和衬底之间的接触。
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公开(公告)号：CN102859436A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201180007625.5
申请日：2011-01-27
Applicant: 分子制模股份有限公司
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/42
Abstract: 本发明描述了可通过在受控组合物的气体气氛中暴露于来自能量源的真空紫外(VUV)辐射移除基板上的聚合材料。本发明还描述了在进行所述移除后，用另外的蚀刻技术进行纳米压印。
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公开(公告)号：CN100532055C
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200480023073.7
申请日：2004-08-13
Applicant: 分子制模股份有限公司
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C23F1/08
Abstract: 本发明提供了一种用具有一模具的一模板在一基板上印制图案的方法，该方法的特征在于：将适应性材料放置在基板和模具之间，通过适应性材料与模具和基板中的一个之间的毛细作用将适应性材料填充入模具和基板之间形成的容积中。在基板和模具至少其中之一上施加推力以补偿与所述毛细作用相关的所述模板上的张力以使张力减弱或无效。具体来说，将模具和基板之间的距离控制在足够减弱(如果不能避免的话)模具和基板之间的压缩力的程度。其结果，在模具最初与适应性材料接触的时候，在模具和基板之间的容积内就自发进行毛细填充。
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公开(公告)号：CN1997869A
公开(公告)日：2007-07-11
申请号：CN03822456.9
申请日：2003-07-31
Applicant: 分子制模股份有限公司
CPC classification number: B29C35/0888 , B29C59/022 , B29C59/026 , B29C2035/0827 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/00
Abstract: 介绍了用平版压印工艺在基底上形成图案的方法。在平版压印工艺中，先将液体分布到基底上，然后使模板与液体接触，并固化液体，其中固化液体包含在模板上形成的任何图案的印记。在一种实施方式中，用散射法使模板与预先在基底上形成的层对齐。
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公开(公告)号：CN1997491A
公开(公告)日：2007-07-11
申请号：CN200580022972.X
申请日：2005-05-27
Applicant: 分子制模股份有限公司
IPC: B25J18/04
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/021 , B29C2043/025 , B29C2043/5858 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/00 , Y10T74/20341 , Y10T74/20348 , Y10T74/20354
Abstract: 本发明涉及控制耦合到执行系统物体移动的方法和系统，该执行系统通过在执行系统中传递相对于两根间隔开轴线的旋转运动来表征延伸的平面中的物体的平移运动。具体而言，旋转运动产生于两个间隔开平面中，其中一个平行于物体在其中平移的平面延伸。这有助于了物体相对于从其间隔开表面的适当定位。
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公开(公告)号：CN1960855A
公开(公告)日：2007-05-09
申请号：CN200580013346.4
申请日：2005-04-19
Applicant: 分子制模股份有限公司
IPC: B32B3/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/003 , B29C2043/025 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0017
Abstract: 公开一种顺应的UV刻印平版印刷模板，该模板还可用作热刻印模板，以及模板的制造方法。模板主要包括浮雕图像和用来调整浮雕图像的弹性体。一个实施方式中，浮雕图像排列在柔顺的刻印层中，在刻印层和刚性透明基板之间设置了弹性体。一个实施方式中，模板与晶片表面共形。一个实施方式中，将弹性体和刻印层层叠在基板上，在刻印层上形成浮雕图像的图案，形成模板。
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公开(公告)号：CN101990470B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN200980112481.2
申请日：2009-04-01
Applicant: 分子制模股份有限公司 , 得克萨斯州大学系统董事会
IPC: B05D1/32
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 可使可聚合材料的液滴在膜片上形成图形。可将可聚合材料的液滴分配在膜片上。可对刻印平版印刷模板施加预定的力，使得膜片上可聚合材料液滴的局部捕集最少，且液滴合并形成连续层。可聚合材料可固化以形成具有残留层和至少一个结构的图形层。
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公开(公告)号：CN101868760B
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN200880117465.8
申请日：2008-11-21
Applicant: 分子制模股份有限公司
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , Y10T428/249978
Abstract: 一种刻印光刻模板或刻印层叠物包含多孔材料，所述多孔材料限定出大量平均孔径至少约为0.4纳米的孔。所述多孔材料的孔隙率至少约为10％。所述多孔模板、所述多孔刻印层叠物、或者两者可以用于刻印光刻工艺，以促进夹在模板和刻印层叠物之间的气体扩散到模板、刻印层叠物、或者两者中，使得所述刻印层叠物和模板之间的可聚合材料在所述刻印层叠物和模板之间迅速地形成基本连续层。
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公开(公告)号：CN101868760A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN200880117465.8
申请日：2008-11-21
Applicant: 分子制模股份有限公司
IPC: G03C5/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , Y10T428/249978
Abstract: 一种刻印光刻模板或刻印层叠物包含多孔材料，所述多孔材料限定出大量平均孔径至少约为0.4纳米的孔。所述多孔材料的孔隙率至少约为10％。所述多孔模板、所述多孔刻印层叠物、或者两者可以用于刻印光刻工艺，以促进夹在模板和刻印层叠物之间的气体扩散到模板、刻印层叠物、或者两者中，使得所述刻印层叠物和模板之间的可聚合材料在所述刻印层叠物和模板之间迅速地形成基本连续层。
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公开(公告)号：CN100460805C
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：CN03822456.9
申请日：2003-07-31
Applicant: 分子制模股份有限公司
CPC classification number: B29C35/0888 , B29C59/022 , B29C59/026 , B29C2035/0827 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/00
Abstract: 介绍了用平版压印工艺在基底上形成图案的方法。在平版压印工艺中，先将液体分布到基底上，然后使模板与液体接触，并固化液体，其中固化液体包含在模板上形成的任何图案的印记。在一种实施方式中，用散射法使模板与预先在基底上形成的层对齐。
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