公开(公告)号：CN101258620A

公开(公告)日：2008-09-03

申请号：CN200680032356.7

申请日：2006-09-05

Applicant: 佳能株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

Inventor： 伊福俊博 ,  青木活水 ,  松田坚义 ,  州窪浩 ,  横山信太郎 ,  金容宽 ,  中木宽 ,  碇山理究

IPC: H01L41/187 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H02N2/00

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1875 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/316

Abstract: 本发明提供了一种压电膜、一种压电膜元件、一种使用该压电膜元件的液体排出头和一种液体排出装置。通过使用由根据通式ABO3构成的钙钛矿复合氧化物所组成的外延氧化物膜作为压电膜而得到压电膜元件，该压电膜元件可适用于液体排出头的排出压力生成元件。该外延氧化物膜至少具有相对于彼此具有晶向偏离的A晶畴和B晶畴。A晶畴和B晶畴之间的晶向偏离小于2°。

公开(公告)号：CN101107724B

公开(公告)日：2010-07-07

申请号：CN200680002605.8

申请日：2006-01-18

Applicant: 佳能株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

Inventor： 福井哲朗 ,  武田宪一 ,  伊福俊博 ,  舟窪浩 ,  横山信太郎 ,  金容宽 ,  中木宽 ,  上野梨纱子 ,  冈本庄司

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/24

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/313 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

Abstract: 一种压电物质元件，其在基板上具有压电物质膜和一对与所述压电物质膜连接的电极，并且所述压电物质膜的主要成分是Pb(Zr，Ti)O3，Zr/(Zr+Ti)的组成比例大于0.4但小于0.7，所述压电物质膜是至少具有四方晶体a畴和c畴的膜，所述a畴和c畴相对于所述基板表面的角度在±10°的范围内，并且c畴体积与a畴和c畴的总体积之比等于或大于20％并且等于或小于60％。

公开(公告)号：CN101728478A

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200910253126.9

申请日：2006-01-18

Applicant: 佳能株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

Inventor： 福井哲朗 ,  武田宪一 ,  伊福俊博 ,  舟窪浩 ,  横山信太郎 ,  金容宽 ,  中木宽 ,  上野梨纱子 ,  冈本庄司

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  B41J2/16

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/313 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

Abstract: 本发明公开一种压电物质元件、液体排出头以及液体排出装置。所述压电物质元件具有压电物质膜和一对与所述压电物质膜连接的电极，其中所述压电物质膜的主要成分是Pb(Zr，Ti)O3，所述压电物质膜是具有四方晶体a畴和c畴的膜，并且在配置这些畴的[001]轴长度和[100]轴长度中，[001]轴长度/[100]轴长度之比等于或大于1.004并且等于或小于1.040。

公开(公告)号：CN101728478B

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN200910253126.9

申请日：2006-01-18

Applicant: 佳能株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

Inventor： 福井哲朗 ,  武田宪一 ,  伊福俊博 ,  舟窪浩 ,  横山信太郎 ,  金容宽 ,  中木宽 ,  上野梨纱子 ,  冈本庄司

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  B41J2/16

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/313 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

Abstract: 本发明公开一种压电物质元件、液体排出头以及液体排出装置。所述压电物质元件具有压电物质膜和一对与所述压电物质膜连接的电极，其中所述压电物质膜的主要成分是Pb(Zr，Ti)O3，所述压电物质膜是具有四方晶体a畴和c畴的膜，并且在配置这些畴的[001]轴长度和[100]轴长度中，[001]轴长度/[100]轴长度之比等于或大于1.004并且等于或小于1.040。

公开(公告)号：CN101258620B

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200680032356.7

申请日：2006-09-05

Applicant: 佳能株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

Inventor： 伊福俊博 ,  青木活水 ,  松田坚义 ,  舟窪浩 ,  横山信太郎 ,  金容宽 ,  中木宽 ,  碇山理究

IPC: H01L41/187 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H02N2/00

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1875 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/316

Abstract: 本发明提供了一种压电膜、一种压电膜元件、一种使用该压电膜元件的液体排出头和一种液体排出装置。通过使用由根据通式ABO3构成的钙钛矿复合氧化物所组成的外延氧化物膜作为压电膜而得到压电膜元件，该压电膜元件可适用于液体排出头的排出压力生成元件。该外延氧化物膜至少具有相对于彼此具有晶向偏离的A晶畴和B晶畴。A晶畴和B晶畴之间的晶向偏离小于2°。

公开(公告)号：CN101107724A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200680002605.8

申请日：2006-01-18

Applicant: 佳能株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

Inventor： 福井哲朗 ,  武田宪一 ,  伊福俊博 ,  舟窪浩 ,  横山信太郎 ,  金容宽 ,  中木宽 ,  上野梨纱子 ,  冈本庄司

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/24

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/313 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

Abstract: 一种压电物质元件，其在基板上具有压电物质膜和一对与所述压电物质膜连接的电极，并且所述压电物质膜的主要成分是Pb(Zr，Ti)O3，Zr/(Zr+Ti)的组成比例大于0.4但小于0.7，所述压电物质膜是至少具有四方晶体a畴和c畴的膜，所述a畴和c畴相对于所述基板表面的角度在±10°的范围内，并且c畴体积与a畴和c畴的总体积之比等于或大于20％并且等于或小于60％。