公开(公告)号：CN117192899A

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202310664454.8

申请日：2023-06-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉田贤治 ,  小出博之 ,  鬼沢雄马

IPC: G03F7/16 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明提供了膜形成方法、膜形成装置和物品制造方法。一种膜形成方法包括：布置步骤，在基板上离散地布置可固化组合物的多个液滴，所述可固化组合物含有作为非挥发性组分的可聚合化合物和作为挥发性组分的溶剂；分析步骤，分析通过拍摄在所述基板上所述多个液滴中的各个与相邻液滴连接的过程而获得的图像，从而在基板上形成连续的液膜；挥发步骤，与形成液膜的过程相比，通过增强溶剂挥发效果来使在液膜中含有的溶剂挥发，以及形成步骤，通过使液膜固化来形成固化膜，其中，如果在分析步骤中获得的分析结果满足表示液膜的形成状态充分的预定条件，则处理进行到挥发步骤，然后进行到形成步骤。

公开(公告)号：CN108732862B

公开(公告)日：2022-07-19

申请号：CN201810338639.9

申请日：2018-04-16

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉田贤治

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明涉及压印装置和物品的制造方法。本发明提供一种压印装置，其进行压印处理，所述压印处理通过使用模具在基板上的处理目标区域上形成压印材料的图案，所述压印装置包括：数字反射镜设备，其包括二维排列的反射镜元件并且被构造为用由所述反射镜元件反射的光照射所述基板；测量单元，其被构造为针对通过对排列有反射镜元件以包括多个反射镜元件的区域进行分割而获得的多个区段中的各个区段，测量从各个区段发射的光的光量；以及控制单元，其被构造为基于测量单元的测量结果来控制各个区段中包括的反射镜元件。

公开(公告)号：CN108732862A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810338639.9

申请日：2018-04-16

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉田贤治

IPC: G03F7/00

CPC classification number: H01L21/0273 ,  B29C59/022 ,  B29C71/04 ,  B29C2059/023 ,  B29K2101/00 ,  B29K2105/246 ,  B29L2009/005 ,  B81C1/0046 ,  G02B26/105 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/266 ,  H01L21/308

Abstract: 本发明涉及压印装置和物品的制造方法。本发明提供一种压印装置，其进行压印处理，所述压印处理通过使用模具在基板上的处理目标区域上形成压印材料的图案，所述压印装置包括：数字反射镜设备，其包括二维排列的反射镜元件并且被构造为用由所述反射镜元件反射的光照射所述基板；测量单元，其被构造为针对通过对以包括多个反射镜元件的方式排列有反射镜元件的区域进行分割而获得的多个区段中的各个区段，测量从各个区段发射的光的光量；以及控制单元，其被构造为基于测量单元的测量结果来控制各个区段中包括的反射镜元件。