公开(公告)号：CN109426098B

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN201810998752.X

申请日：2018-08-30

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉冈泰智 ,  栗田裕介 ,  铃木徹 ,  岩越守孝 ,  川田大蔵 ,  冈積弘典 ,  唐木俊介 ,  桥本隆行

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及图案化方法、光刻装置和物品制造方法。光刻装置检测关于要在光刻装置中通过使用第一原版执行图案化的一部分压射区域布置的多个第一基板侧标记，并且检测关于要在另一光刻装置中通过使用与第一原版不同的第二原版执行图案化的与所述一部分压射区域不同的其它压射区域布置的多个第二基板侧标记。光刻装置输出关于所述多个第二基板侧标记的检测结果的信息以使得可用于其它光刻装置。然后，基于多个第一基板侧标记的检测结果，光刻装置在执行第一原版关于所述一部分压射区域的对准的同时执行图案化。

公开(公告)号：CN113703288A

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN202111042107.9

申请日：2018-08-30

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉冈泰智 ,  栗田裕介 ,  铃木徹 ,  岩越守孝 ,  川田大蔵 ,  冈積弘典 ,  唐木俊介 ,  桥本隆行

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/42 ,  G03F1/00 ,  G03F9/00

Abstract: 本发明公开了图案化方法、光刻装置和物品制造方法。光刻装置检测关于要在光刻装置中通过使用第一原版执行图案化的一部分压射区域布置的多个第一基板侧标记，并且检测关于要在另一光刻装置中通过使用与第一原版不同的第二原版执行图案化的与所述一部分压射区域不同的其它压射区域布置的多个第二基板侧标记。光刻装置输出关于所述多个第二基板侧标记的检测结果的信息以使得可用于其它光刻装置。然后，基于多个第一基板侧标记的检测结果，光刻装置在执行第一原版关于所述一部分压射区域的对准的同时执行图案化。

公开(公告)号：CN109426098A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201810998752.X

申请日：2018-08-30

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉冈泰智 ,  栗田裕介 ,  铃木徹 ,  岩越守孝 ,  川田大蔵 ,  冈積弘典 ,  唐木俊介 ,  桥本隆行

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F9/7088 ,  G03F1/00 ,  G03F1/42 ,  G03F7/70141 ,  G03F7/70358 ,  G03F7/70541 ,  G03F7/70591 ,  G03F7/7085

Abstract: 本发明涉及图案化方法、光刻装置和物品制造方法。光刻装置检测关于要在光刻装置中通过使用第一原版执行图案化的一部分压射区域布置的多个第一基板侧标记，并且检测关于要在另一光刻装置中通过使用与第一原版不同的第二原版执行图案化的与所述一部分压射区域不同的其它压射区域布置的多个第二基板侧标记。光刻装置输出关于所述多个第二基板侧标记的检测结果的信息以使得可用于其它光刻装置。然后，基于多个第一基板侧标记的检测结果，光刻装置在执行第一原版关于所述一部分压射区域的对准的同时执行图案化。

公开(公告)号：CN113703288B

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202111042107.9

申请日：2018-08-30

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉冈泰智 ,  栗田裕介 ,  铃木徹 ,  岩越守孝 ,  川田大蔵 ,  冈積弘典 ,  唐木俊介 ,  桥本隆行

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/42 ,  G03F1/00 ,  G03F9/00

Abstract: 本发明公开了图案化方法、光刻装置和物品制造方法。光刻装置检测关于要在光刻装置中通过使用第一原版执行图案化的一部分压射区域布置的多个第一基板侧标记，并且检测关于要在另一光刻装置中通过使用与第一原版不同的第二原版执行图案化的与所述一部分压射区域不同的其它压射区域布置的多个第二基板侧标记。光刻装置输出关于所述多个第二基板侧标记的检测结果的信息以使得可用于其它光刻装置。然后，基于多个第一基板侧标记的检测结果，光刻装置在执行第一原版关于所述一部分压射区域的对准的同时执行图案化。