喷出装置、控制方法、基板处理装置及物品的制造方法

    公开(公告)号:CN118471847A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410160036.X

    申请日:2024-02-05

    Abstract: 本发明提供喷出装置、控制方法、基板处理装置及物品的制造方法。喷出装置的特征在于,所述喷出装置具有:喷出头,包括喷出喷出液的多个喷出口,经由所述多个喷出口在基板上配置所述喷出液;清洗部,使用粘度与所述喷出液不同的清洗液,对所述多个喷出口露出的喷出面进行清洗;确定部,在所述清洗部清洗了所述喷出面之后,从所述多个喷出口确定出在喷出口内残留有所述清洗液的第一喷出口;以及控制部,使所述喷出头进行预备喷出,以从所述多个喷出口中的由所述确定部确定了的所述第一喷出口喷出第一喷出量的所述喷出液。

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