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公开(公告)号:CN106964908A
公开(公告)日:2017-07-21
申请号:CN201710384882.X
申请日:2017-05-26
Applicant: 广东工业大学 , 佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院
IPC: B23K26/382 , B23K26/046 , B23K26/067 , B23K26/064
CPC classification number: B23K26/382 , B23K26/046 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0676
Abstract: 本发明实施例公开了一种激光微孔加工系统,通过利用分光模块将脉冲激光分为能量不同的两束子脉冲激光光源,能量大的子脉冲激光光源通过聚焦模块入射至待加工微孔平面,第二子脉冲激光光源通过脉冲调整模块以及聚焦模块入射至待加工微孔平面;脉冲控制模块根据预设的加工方式,控制两束子脉冲激光光源对微孔进行交替加工。通过不同能量的激光脉冲交替对微孔进行加工,根据能量不同的脉冲对微孔的进行打出凹坑、去除、修整形貌的操作,提高了微孔的入口圆整度,有利于减少重铸层以及减小热影响区,获得良好的微孔加工质量,从而提高微孔成形质量。
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公开(公告)号:CN104858892A
公开(公告)日:2015-08-26
申请号:CN201510317041.8
申请日:2015-06-11
Applicant: 佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院 , 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了基于智能机械臂的模块化机器人,属于机器人领域,包括智能机械臂和模块化关节,所述智能机械臂通过模块化关节串联成多自由度机器人,所述智能机械臂段包括本体框架、压电陶瓷驱动器及应变传感器,所述应变传感器安装在所述本体框架上,安装在所述本体框架上的应变传感器构成的群组,用于测量本体框架运动过程中的自身整体变形状况;所述压电陶瓷驱动器安装于所述本体框架中,用于补偿所述本体框架在运动过程中的自身整体变形。本发明的机器人利用基于振动测量与补偿的智能机械臂段,并结合模块化机器人的易于制造的特点,提高机器人的标准化程度,同时也提升机器人对不同工况的适应性,提高机器人的工作精度。
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公开(公告)号:CN104858892B
公开(公告)日:2017-03-01
申请号:CN201510317041.8
申请日:2015-06-11
Applicant: 佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院 , 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了基于智能机械臂的模块化机器人,属于机器人领域,包括智能机械臂和模块化关节,所述智能机械臂通过模块化关节串联成多自由度机器人,所述智能机械臂段包括本体框架、压电陶瓷驱动器及应变传感器,所述应变传感器安装在所述本体框架上,安装在所述本体框架上的应变传感器构成的群组,用于测量本体框架运动过程中的自身整体变形状况;所述压电陶瓷驱动器安装于所述本体框架中,用于补偿所述本体框架在运动过程中的自身整体变形。本发明的机器人利用基于振动测量与补偿的智能机械臂段,并结合模块化机器人的易于制造的特点,提高机器人的标准化程度,同时也提升机器人对不同工况的适应性,提高机器人的工作精度。
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公开(公告)号:CN104985609A
公开(公告)日:2015-10-21
申请号:CN201510317112.4
申请日:2015-06-11
Applicant: 佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院 , 广东工业大学
Abstract: 本发明了公开了一种振动智能补偿机械臂、机器人及其振动测量方法,属于机械工程领域,该振动智能补偿机械臂包括本体框架、压电陶瓷致动器及应变传感器,所述本体框架为一体式加工的类桁架式结构,所述应变传感器安装于所述本体框架上,用于测量本体框架在运动过程中的变形状况并将测量结果反馈至控制系统,所述压电陶瓷致动器安装于所述本体框架中,在控制系统的作用下用于补偿所述本体框架在运动过程中的变形。本发明的机械臂解决高速高精密轻载机械领域的机械臂振动抑制问题,旨在通过在机械臂中安装振动检测与补偿的智能元件的方式来实现对机械臂的主动振动抑制,并最终提高系统的执行精度。
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公开(公告)号:CN106964908B
公开(公告)日:2019-01-01
申请号:CN201710384882.X
申请日:2017-05-26
Applicant: 广东工业大学 , 佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院
IPC: B23K26/382 , B23K26/046 , B23K26/067 , B23K26/064
Abstract: 本发明实施例公开了一种激光微孔加工系统,通过利用分光模块将脉冲激光分为能量不同的两束子脉冲激光光源,能量大的子脉冲激光光源通过聚焦模块入射至待加工微孔平面,第二子脉冲激光光源通过脉冲调整模块以及聚焦模块入射至待加工微孔平面;脉冲控制模块根据预设的加工方式,控制两束子脉冲激光光源对微孔进行交替加工。通过不同能量的激光脉冲交替对微孔进行加工,根据能量不同的脉冲对微孔的进行打出凹坑、去除、修整形貌的操作,提高了微孔的入口圆整度,有利于减少重铸层以及减小热影响区,获得良好的微孔加工质量,从而提高微孔成形质量。
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公开(公告)号:CN104985609B
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:CN201510317112.4
申请日:2015-06-11
Applicant: 佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院 , 广东工业大学
Abstract: 本发明了公开了一种振动智能补偿机械臂、机器人及其振动测量方法,属于机械工程领域,该振动智能补偿机械臂包括本体框架、压电陶瓷致动器及应变传感器,所述本体框架为一体式加工的类桁架式结构,所述应变传感器安装于所述本体框架上,用于测量本体框架在运动过程中的变形状况并将测量结果反馈至控制系统,所述压电陶瓷致动器安装于所述本体框架中,在控制系统的作用下用于补偿所述本体框架在运动过程中的变形。本发明的机械臂解决高速高精密轻载机械领域的机械臂振动抑制问题,旨在通过在机械臂中安装振动检测与补偿的智能元件的方式来实现对机械臂的主动振动抑制,并最终提高系统的执行精度。
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公开(公告)号:CN116864432A
公开(公告)日:2023-10-10
申请号:CN202310915922.4
申请日:2023-07-24
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L21/677 , H01L21/683 , H01L21/50
Abstract: 本发明公开了一种基于转盘固晶机的芯片转移方法、系统、设备和介质,采用待转移芯片数据和转盘固晶机数据,构建芯片待转移页面。并采用待转移芯片数据、转盘固晶机数据和预设距离阈值进行转盘运行数据计算,更新得到初始芯片转移页面。基于供料平台的初始供料运行速度和目标线速度进行芯片拾取,得到中间转移页面和中间转盘线速度。基于中间转盘线速度和芯片接收台的初始接收运行速度进行芯片放置,得到目标芯片转移页面。通过对供料平台、转盘和芯片接收台的运行速度进行调整,使转盘在进行芯片拾取或放置时,不需要执行停止的动作。通过构建芯片转移页面使操作人员监测转盘固晶机运行情况,基于实际需要进行相应的装置调整,提高芯片转移效率。
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公开(公告)号:CN111324152B
公开(公告)日:2023-08-15
申请号:CN201911235952.0
申请日:2019-12-05
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种新型的刚柔耦合高精度旋转平台及其控制方法,包括机座、刚性轴承、轴承套筒、核心旋转平台、旋转驱动器和编码器;轴承套筒固定在所述机座上;刚性轴承与核心旋转平台之间可旋转传动连接;刚性轴承通过轴承套筒与所述机座连接;核心旋转平台的上表面设有若干组柔性铰链;当旋转驱动器对核心旋转平台施加使其旋转的驱动力时,驱动力使柔性铰链环发生弹性变形。本发明采用柔性铰链且将柔性铰链设置于核心旋转平台的上表面上,无需拆卸下整个旋转平台即可对相应组的柔性铰链进行更换,不会破坏其它组的柔性铰链的装配关系,并且可以通过夹具改变柔性铰链有效变形长度来改柔性铰链刚度,实现刚度的调节。
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公开(公告)号:CN111085970B
公开(公告)日:2023-06-16
申请号:CN201911275942.X
申请日:2019-12-12
Applicant: 广东工业大学
IPC: B23Q1/25
Abstract: 本发明公开了一种滚珠丝杠驱动的外部调节刚度的刚柔耦合平台,包括框架、工作平台和至少两组柔性铰链,每组柔性铰链分别设于框架导轨方向的两个相对端面上;工作平台套设于框架的凹槽内,且工作平台不与框架接触;工作平台的两端面与柔性铰链固定连接,柔性铰链的主工作方向为框架的位移方向。本发明的优点:1、在更换柔性铰链时,一组一组更换,可以保证原本的装配关系。2、每一组可以分别采用不同厚度的柔性铰链,通过不同厚度的柔性铰链排列组合可以适应多种工作场合。3、当多组柔性铰链分别采用不同厚度的柔性铰链,可以根据需要改变弹簧力的分布,实现最佳的工作装配情况。
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公开(公告)号:CN111251260B
公开(公告)日:2023-05-16
申请号:CN201911274731.4
申请日:2019-12-12
Applicant: 广东工业大学
IPC: B23Q1/25
Abstract: 本发明公开了一种易维护刚柔耦合平台结构及其组成的多自由度运动平台,包括工作平台、平台框架、检测元件和驱动元件装置,工作平台通过凹凸结构套设于平台框架内而不互相接触,平台框架和工作平台的两个端面通过至少两组柔性铰链固定连接;工作平台与驱动元件装置的驱动力输出端连接;检测元件至少包含一组主检测元件,检测工作平台的运动位移或速度;副检测元件用于检测柔性铰链的变形量或变形速度。在更换柔性铰链时,逐组更换,无需整个拆卸下工作平台,并且单独更换任意一组柔性铰链都不会破坏原来的装配关系。另外,多组柔性铰链可采用不同厚度组合同时工作,实现多刚度调节,适应不同载荷情况。
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