公开(公告)号：CN116093193A

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN202310064073.6

申请日：2023-01-13

Applicant: 之江实验室

Inventor： 杜瑀 ,  朱家旗 ,  陈焕坚 ,  阮罗渊 ,  宋睿烜 ,  白石根 ,  林虹宇 ,  唐燕如 ,  单玉凤 ,  俞国林 ,  邓惠勇 ,  戴宁

IPC: H01L31/101 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0224

Abstract: 本申请涉及一种阻挡杂质带探测器及其制备方法、探测系统。其中，阻挡杂质带探测器包括：衬底、转接电极与至少一个接收单元；所述衬底具有相对的第一表面与第二表面，所述接收单元从所述第一表面开始朝向所述第二表面延伸；所述接收单元在所述第一表面上阵列排布；所述接收单元被配置为接收辐射，并产生与接收的辐射相对应的电流；每一所述接收单元均包括接触部；所述转接电极位于至少部分所述接触部朝向所述第一表面的一侧，所述转接电极的材料包括石墨烯。