检查装置、检查方法及检查对象物的制造方法

    公开(公告)号:CN110573864B

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN201780090043.5

    申请日:2017-04-26

    Abstract: 本发明的检查装置包括:射线源,其向检查对象物照射能量射线;检测部,其检测从检查对象物中通过的能量射线;位移机构,其使检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移,设定检查对象物与射线源的相对位置;内部图像生成部,其基于由检测部检测到的能量射线的检测量分布,生成检查对象物的内部图像;以及控制部,其基于由检测部检测到的能量射线的检测量分布,对位移机构进行控制。

    检查装置、检查方法及检查对象物的制造方法

    公开(公告)号:CN110573864A

    公开(公告)日:2019-12-13

    申请号:CN201780090043.5

    申请日:2017-04-26

    Abstract: 本发明的检查装置包括:射线源,其向检查对象物照射能量射线;检测部,其检测从检查对象物中通过的能量射线;位移机构,其使检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移,设定检查对象物与射线源的相对位置;内部图像生成部,其基于由检测部检测到的能量射线的检测量分布,生成检查对象物的内部图像;以及控制部,其基于由检测部检测到的能量射线的检测量分布,对位移机构进行控制。

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