边缘检查设备
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101443653B

    公开(公告)日:2013-03-20

    申请号:CN200780016768.6

    申请日:2007-05-07

    Inventor: 坂口直史

    Abstract: 一种边缘检查设备,该设备设置有:照明装置(5),该照明装置从待检查的物体的表面或反面的正上方或正下方之外的位置向待检查的平坦的物体(1)的边缘照射漫射光;成像装置(4),该成像装置从沿着与平行于所述物体的表面或反面的平面垂直的方向的位置对所述边缘进行成像;以及检查装置(7),该检查装置利用由所述成像装置获取的图像检查所述边缘的相对于所述表面或所述反面倾斜的部分的状况。

    边缘检查设备
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101443653A

    公开(公告)日:2009-05-27

    申请号:CN200780016768.6

    申请日:2007-05-07

    Inventor: 坂口直史

    Abstract: 一种边缘检查设备,该设备设置有:照明装置(5),该照明装置从待检查的物体的表面或反面的正上方或正下方之外的位置向待检查的平坦的物体(1)的边缘照射漫射光;成像装置(4),该成像装置从沿着与平行于所述物体的表面或反面的平面垂直的方向的位置对所述边缘进行成像;以及检查装置(7),该检查装置利用由所述成像装置获取的图像检查所述边缘的相对于所述表面或所述反面倾斜的部分的状况。

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