公开(公告)号：CN110573864B

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN201780090043.5

申请日：2017-04-26

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 大林岳史 ,  在家正行 ,  道本隆裕

IPC: G01N23/04 ,  G01N23/046

Abstract: 本发明的检查装置包括：射线源，其向检查对象物照射能量射线；检测部，其检测从检查对象物中通过的能量射线；位移机构，其使检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移，设定检查对象物与射线源的相对位置；内部图像生成部，其基于由检测部检测到的能量射线的检测量分布，生成检查对象物的内部图像；以及控制部，其基于由检测部检测到的能量射线的检测量分布，对位移机构进行控制。

公开(公告)号：CN110573864A

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：CN201780090043.5

申请日：2017-04-26

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 大林岳史 ,  在家正行 ,  道本隆裕

IPC: G01N23/04 ,  G01N23/046

Abstract: 本发明的检查装置包括：射线源，其向检查对象物照射能量射线；检测部，其检测从检查对象物中通过的能量射线；位移机构，其使检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移，设定检查对象物与射线源的相对位置；内部图像生成部，其基于由检测部检测到的能量射线的检测量分布，生成检查对象物的内部图像；以及控制部，其基于由检测部检测到的能量射线的检测量分布，对位移机构进行控制。