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公开(公告)号：CN101796399A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200880105814.4
申请日：2008-09-04
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G01N21/956 , G01B11/30 , G01N21/88 , G01N21/89
CPC classification number: G01N21/9503
Abstract: 本发明提供一种观察装置和观察方法以及检查装置和检查方法。本发明的检查装置具有：摄像部(30)，拍摄被检测物中的第一范围以及相对于该第一范围向预定方向偏移的第二范围；差分处理部(44)，得到第一范围的图像和第二范围的图像在上述预定方向上对应的部分的信号的差分；和检查部(46)，根据差分处理部(44)的处理结果，检查被检测物中有无缺陷。
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