气体供给结构
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101910701A

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN200880122885.5

    申请日:2008-12-09

    Abstract: 一种气体供给结构(100),具有:具有气体供给路(12)的喷嘴(10)和具有喷嘴(10)插入连接的插入口(22)的接受器(20);接受器(20)具有设置在插入口(22)的附近、用于密封的第一O型圈(24)和,设置在比第一O型圈(24)靠气体供给的下游侧、用于密封的第二O型圈(28)。第二O型圈(28)通过接合材料(27),其一部分与接受器(20)的凹部接合。以位于比第二O型圈(28)靠插入口(22)侧的方式配置有异物除去部件(26)。异物除去部件(26)以相对于接受器(20)的从插入口(22)延伸的内周面而一部分突出的方式设置在接受器(20)。

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