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公开(公告)号：CN100530552C
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200680001819.3
申请日：2006-01-06
Applicant: 丰田合成株式会社 , 财团法人神奈川科学技术研究院
CPC classification number: C23C14/08 , C23C30/00 , G02F1/09 , H01L21/28264 , H01L29/513 , H01L29/517 , H01L33/42
Abstract: 本发明鉴于目前正期待着适用范围大的透明电极材料以及磁性材料这一状况，提供具有新特性的功能元件和氧化物材料形成方法。所述的功能元件具有AlxGayInzN和在所述AlxGayInzN上形成、含有金属氧化物的氧化物材料，其中，0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1；所述金属氧化物为TiO2。根据本发明，可以得到在具有优异的物理化学性质的3族氮化物上一体形成的在界面的反射少、兼具耐化学品性和耐久性膜而构成的功能元件。
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公开(公告)号：CN101099227A
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200680001819.3
申请日：2006-01-06
Applicant: 丰田合成株式会社 , 财团法人神奈川科学技术研究院
CPC classification number: C23C14/08 , C23C30/00 , G02F1/09 , H01L21/28264 , H01L29/513 , H01L29/517 , H01L33/42
Abstract: 本发明鉴于目前正期待着适用范围大的透明电极材料以及磁性材料这一状况，提供具有新特性的功能元件和氧化物材料形成方法。所述的功能元件具有AlxGayInzN和在所述AlxGayInzN上形成、含有金属氧化物的氧化物材料，其中，0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1；所述金属氧化物为TiO2。根据本发明，可以得到在具有优异的物理化学性质的3族氮化物上一体形成的在界面的反射少、兼具耐化学品性和耐久性膜而构成的功能元件。
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公开(公告)号：CN101036200B
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200580033837.5
申请日：2005-08-10
Applicant: 财团法人神奈川科学技术研究院
CPC classification number: C03C17/2456 , C03C17/34 , C03C2217/212 , C03C2217/218 , C03C2217/23 , C03C2217/24 , C03C2218/15 , G02F1/13439 , G02F2201/12 , G02F2202/06 , G02F2203/01 , H01B1/08 , H01L31/022466 , H01L31/022475 , H01L31/022483 , H01L31/1884 , H01M4/48 , H01M14/005 , H05B33/28 , Y02E10/50 , Y10T428/12667
Abstract: 本发明涉及透明且具有导电性的透明电极用基材及透明导电性薄膜，提供一种由能够稳定供给且有良好耐化学药品性等的原料构成的透明金属材料及透明电极。在基板(11)上形成锐钛矿型结晶结构的金属氧化物层(12)，通过由M:TiO2构成金属氧化物层(12)，从而维持内部透过率的同时，呈现低电阻率。即，通过用其它原子(Nb、Ta、Mo、As、Sb、W等)置换锐钛矿型TiO2中的Ti位置所得到的M:TiO2，从而能够在维持透明度的同时，显著提高导电率。
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公开(公告)号：CN101036200A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200580033837.5
申请日：2005-08-10
Applicant: 财团法人神奈川科学技术研究院
CPC classification number: C03C17/2456 , C03C17/34 , C03C2217/212 , C03C2217/218 , C03C2217/23 , C03C2217/24 , C03C2218/15 , G02F1/13439 , G02F2201/12 , G02F2202/06 , G02F2203/01 , H01B1/08 , H01L31/022466 , H01L31/022475 , H01L31/022483 , H01L31/1884 , H01M4/48 , H01M14/005 , H05B33/28 , Y02E10/50 , Y10T428/12667
Abstract: 本发明涉及透明且具有导电性的透明电极用基材及透明导电性薄膜，提供一种由能够稳定供给且有良好耐化学药品性等的原料构成的透明金属材料及透明电极。在基板(11)上形成锐钛矿型结晶结构的金属氧化物层(12)，通过由M:TiO2构成金属氧化物层(12)，从而维持内部透过率的同时，呈现低电阻率。即，通过用其它原子(Nb、Ta、Mo、As、Sb、W等)置换锐钛矿型TiO2中的Ti位置所得到的M:TiO2，从而能够在维持透明度的同时，显著提高导电率。
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