公开(公告)号：CN100530552C

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200680001819.3

申请日：2006-01-06

Applicant: 丰田合成株式会社 ,  财团法人神奈川科学技术研究院

Inventor： 一杉太郎 ,  古林宽 ,  长谷川哲也 ,  广濑靖 ,  笠井淳平 ,  守山实希

IPC: H01L21/28 ,  C23C14/08 ,  C23C14/28 ,  C30B29/16 ,  G02F1/09 ,  H01L33/00

CPC classification number: C23C14/08 ,  C23C30/00 ,  G02F1/09 ,  H01L21/28264 ,  H01L29/513 ,  H01L29/517 ,  H01L33/42

Abstract: 本发明鉴于目前正期待着适用范围大的透明电极材料以及磁性材料这一状况，提供具有新特性的功能元件和氧化物材料形成方法。所述的功能元件具有AlxGayInzN和在所述AlxGayInzN上形成、含有金属氧化物的氧化物材料，其中，0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1；所述金属氧化物为TiO2。根据本发明，可以得到在具有优异的物理化学性质的3族氮化物上一体形成的在界面的反射少、兼具耐化学品性和耐久性膜而构成的功能元件。

公开(公告)号：CN101099227A

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200680001819.3

申请日：2006-01-06

Applicant: 丰田合成株式会社 ,  财团法人神奈川科学技术研究院

Inventor： 一杉太郎 ,  古林宽 ,  长谷川哲也 ,  广濑靖 ,  笠井淳平 ,  守山实希

IPC: H01L21/28 ,  C23C14/08 ,  C23C14/28 ,  C30B29/16 ,  G02F1/09 ,  H01L33/00

CPC classification number: C23C14/08 ,  C23C30/00 ,  G02F1/09 ,  H01L21/28264 ,  H01L29/513 ,  H01L29/517 ,  H01L33/42

Abstract: 本发明鉴于目前正期待着适用范围大的透明电极材料以及磁性材料这一状况，提供具有新特性的功能元件和氧化物材料形成方法。所述的功能元件具有AlxGayInzN和在所述AlxGayInzN上形成、含有金属氧化物的氧化物材料，其中，0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1；所述金属氧化物为TiO2。根据本发明，可以得到在具有优异的物理化学性质的3族氮化物上一体形成的在界面的反射少、兼具耐化学品性和耐久性膜而构成的功能元件。