基板涂敷设备和所述基板涂敷设备的涂敷方法

    公开(公告)号:CN101279310A

    公开(公告)日:2008-10-08

    申请号:CN200710196478.6

    申请日:2007-12-05

    Abstract: [目的]为了提供一种能够横过基板的整个长度和宽度施加一致厚度的涂层的基板涂敷设备及涂敷方法。[装置]作为调节形成于涂敷喷嘴上的排出口(4)的位置的装置,喷嘴定位器(5a~5e)横过涂敷喷嘴(3)的长度以适合的间隔安装。在涂敷喷嘴向前移动期间,安装到与对应的喷嘴定位器组成组的涂敷喷嘴上的每个距离传感器(6a~6e)沿基板的长度在多个量测点处测量涂敷喷嘴和基板(2)之间的间隙量,以便通过栅格图案测量基板表面上的波形变形。根据从每个距离传感器输入的间隙量数据,控制单元通过沿基板的长度在每个距离传感器处的平均间隙量的计算值来控制每个喷嘴定位器的致动。

    步进梁式加热炉
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103649663B

    公开(公告)日:2015-10-21

    申请号:CN201380002113.9

    申请日:2013-01-11

    Abstract: 本发明的技术问题在于,在利用步进梁将长条的被处理件沿与长度方向交叉的方向搬运并进行加热处理时,即便该被处理件发生弯曲,也能合适地搬运弯曲的被处理件,且能合适地对弯曲的被处理件进行矫正。在利用步进梁(30)将导入加热炉(10)内的长条的被处理件(W)从导入部朝向导出部在固定梁(20)上依次进行搬运时,至少在所述步进梁上设置对被处理件进行保持的凹部(32),使对被处理件进行加热的导入部侧处的凹部(32a)在搬运方向上的宽度变大,并使将加热后的被处理件整体加热到均匀的温度且进行保持的导出部侧处的凹部(32b)形成为波形槽状。

    涂布装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101204691A

    公开(公告)日:2008-06-25

    申请号:CN200710128042.3

    申请日:2007-06-22

    Abstract: 一种涂布装置,使涂布用涂布头(10)相对于被涂布体(1)相对移动,将涂布液(2)从设在涂布用涂布头前端上的狭缝状排出口(11)供给到被涂布体的表面,在从所述排出口将涂布液供给到被涂布体的位置附近设置有使气体喷出到涂布用涂布头的移动方向下游侧部分的气体喷出装置(20),使气体从该气体喷出装置倾斜地喷出到涂布用涂布头的移动方向下游侧。采用本发明,当使涂布用涂布头相对于被涂布体相对移动而从设在涂布用涂布头前端上的狭缝状排出口将涂布液供给到被涂布体的表面时,即使使用了高粘度的涂布液,也可将该涂布液较薄地且平滑而均匀地涂布在被涂布体的表面上。

    步进梁式加热炉
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103649663A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201380002113.9

    申请日:2013-01-11

    Abstract: 本发明的技术问题在于,在利用步进梁将长条的被处理件沿与长度方向交叉的方向搬运并进行加热处理时,即便该被处理件发生弯曲,也能合适地搬运弯曲的被处理件,且能合适地对弯曲的被处理件进行矫正。在利用步进梁(30)将导入加热炉(10)内的长条的被处理件(W)从导入部朝向导出部在固定梁(20)上依次进行搬运时,至少在所述步进梁上设置对被处理件进行保持的凹部(32),使对被处理件进行加热的导入部侧处的凹部(32a)在搬运方向上的宽度变大,并使将加热后的被处理件整体加热到均匀的温度且进行保持的导出部侧处的凹部(32b)形成为波形槽状。

    基板涂敷设备和所述基板涂敷设备的涂敷方法

    公开(公告)号:CN101279310B

    公开(公告)日:2013-05-08

    申请号:CN200710196478.6

    申请日:2007-12-05

    Abstract: [目的]为了提供一种能够横过基板的整个长度和宽度施加一致厚度的涂层的基板涂敷设备及涂敷方法。[装置]作为调节形成于涂敷喷嘴上的排出口(4)的位置的装置,喷嘴定位器(5a~5e)横过涂敷喷嘴(3)的长度以适合的间隔安装。在涂敷喷嘴向前移动期间,安装到与对应的喷嘴定位器组成组的涂敷喷嘴上的每个距离传感器(6a~6e)沿基板的长度在多个量测点处测量涂敷喷嘴和基板(2)之间的间隙量,以便通过栅格图案测量基板表面上的波形变形。根据从每个距离传感器输入的间隙量数据,控制单元通过沿基板的长度在每个距离传感器处的平均间隙量的计算值来控制每个喷嘴定位器的致动。

    涂布装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101204691B

    公开(公告)日:2010-08-18

    申请号:CN200710128042.3

    申请日:2007-06-22

    Abstract: 一种涂布装置,使涂布用涂布头(10)相对于被涂布体(1)相对移动,将涂布液(2)从设在涂布用涂布头前端上的狭缝状排出口(11)供给到被涂布体的表面,在从所述排出口将涂布液供给到被涂布体的位置附近设置有使气体喷出到涂布用涂布头的移动方向下游侧部分的气体喷出装置(20),使气体从该气体喷出装置倾斜地喷出到涂布用涂布头的移动方向下游侧。采用本发明,当使涂布用涂布头相对于被涂布体相对移动而从设在涂布用涂布头前端上的狭缝状排出口将涂布液供给到被涂布体的表面时,即使使用了高粘度的涂布液,也可将该涂布液较薄地且平滑而均匀地涂布在被涂布体的表面上。

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