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公开(公告)号：CN101279310B
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN200710196478.6
申请日：2007-12-05
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: [目的]为了提供一种能够横过基板的整个长度和宽度施加一致厚度的涂层的基板涂敷设备及涂敷方法。[装置]作为调节形成于涂敷喷嘴上的排出口(4)的位置的装置，喷嘴定位器(5a～5e)横过涂敷喷嘴(3)的长度以适合的间隔安装。在涂敷喷嘴向前移动期间，安装到与对应的喷嘴定位器组成组的涂敷喷嘴上的每个距离传感器(6a～6e)沿基板的长度在多个量测点处测量涂敷喷嘴和基板(2)之间的间隙量，以便通过栅格图案测量基板表面上的波形变形。根据从每个距离传感器输入的间隙量数据，控制单元通过沿基板的长度在每个距离传感器处的平均间隙量的计算值来控制每个喷嘴定位器的致动。
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公开(公告)号：CN101279310A
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200710196478.6
申请日：2007-12-05
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: [目的]为了提供一种能够横过基板的整个长度和宽度施加一致厚度的涂层的基板涂敷设备及涂敷方法。[装置]作为调节形成于涂敷喷嘴上的排出口(4)的位置的装置，喷嘴定位器(5a～5e)横过涂敷喷嘴(3)的长度以适合的间隔安装。在涂敷喷嘴向前移动期间，安装到与对应的喷嘴定位器组成组的涂敷喷嘴上的每个距离传感器(6a～6e)沿基板的长度在多个量测点处测量涂敷喷嘴和基板(2)之间的间隙量，以便通过栅格图案测量基板表面上的波形变形。根据从每个距离传感器输入的间隙量数据，控制单元通过沿基板的长度在每个距离传感器处的平均间隙量的计算值来控制每个喷嘴定位器的致动。
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