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公开(公告)号：CN118896630A
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202410982862.2
申请日：2024-07-22
Applicant: 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所 , 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于速度及角速度解耦动态臂杆效应补偿方法，涉及石英倾角仪领域，所述方法包括：构建坐标系和安装辅助石英倾角仪，构建门状态计算模型和摆状态计算模型，在坐标系对应安装振动传感器，对计算模型标定，获得各轴方向的振动幅值，获得待处理石英倾角仪的实时滚转角和实时测量信号，根据实时滚转角的范围和各轴方向的振动幅值计算获得补偿后的俯仰角；本方法能够准确的获得石英倾角仪的振动测量误差对应的振动幅值Ax、Ay和Az，通过基于这些振动幅值进行相应的补偿计算可以获得补偿后的准确的测量结果。
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公开(公告)号：CN118882603A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202410982859.0
申请日：2024-07-22
Applicant: 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所 , 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01C9/18
Abstract: 本发明公开了一种液态阻尼调制倾角传感器，涉及载体姿态测量领域，包括：外壳、上下轭铁组件、磁钢组件、伺服电路板组件、振动传感器、温度传感器、发热电阻回路和温度电路板组件；温度传感器用于检测外壳内的阻尼液体的温度并将检测到的温度信息传递至温度电路板组件；发热电阻回路用于对外壳内的阻尼液体进行加热；振动传感器用于采集液态阻尼调制倾角传感器的外部振动环境数据，将外部振动环境数据传递至温度电路板组件；温度电路板组件用于基于外部振动环境数据和温度信息控制发热电阻回路的输出功率，本发明针对重力场宽频带的振动条件下，实现对载体倾角的测量，减小高频振动及冲击对载体倾角传感器性能的影响。
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公开(公告)号：CN117607489B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410063803.5
申请日：2024-01-17
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明属于加速度传感器技术领域。本发明提供一种压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器。敏感结构包括框架和敏感单元，框架形成有第一容置空间，敏感单元设置于第一容置空间内。敏感单元包括质量块、第一支撑梁和第二支撑梁。质量块具有主体以及固定至主体的凸部；第一支撑梁和第二支撑梁的一端分别连接至质量块的主体的第一纵向位置和第二纵向位置；其中，质量块的纵向为质量块的敏感方向，质量块的凸部的延伸方向与第一支撑梁、第二支撑梁的延伸方向平行；质量块在加速度作用下对第一支撑梁和第二支撑梁产生作用力。有利于提高敏感结构的抗冲击能力、横向抗干扰能力。可充分利用空间位置，从而减小敏感结构的体积。
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公开(公告)号：CN116387084A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310643365.5
申请日：2023-06-01
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明涉及微电子机械系统技术领域，公开了一种石英微开关，该开关包括由下至上通过键合连接的下极板、中间极板和上盖板。其中，中间极板包括中间基板和设置于中间基板下表面的中间电极层；中间基板包括中间边框、质量块和悬臂梁；中间电极层包括设置于质量块的下表面的质量块电极层。下极板包括下基板和设置于下基板的上表面的第二电极层；第二电极层包括导通电极层，导通电极层与质量块电极层相对设置。其中，下基板、上盖板和中间基板的材质均为熔石英；质量块被构造成可在惯性作用下在石英微开关内上下移动，当质量块电极层与导通电极层接触时，第一电极层和第二电极层导通。该开关热应力小、可靠性高，加工工艺简单。
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公开(公告)号：CN116364482A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310649193.2
申请日：2023-06-02
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明涉及微电子机械系统技术领域，公开了一种一体式高冲击石英微开关。基于熔石英基片一体成型的石英微开关主体，石英微开关主体包括基座、悬臂梁、质量块、下极板、下极板悬臂梁和下极板质量块。质量块通过悬臂梁连接至基座的上端，下极板连接至基座的下端，下极板质量块通过下极板悬臂梁连接至下极板。质量块上设有第一金属层，下极板质量块上设有第二金属层。其中，质量块被构造成可在惯性作用下向下极板质量块移动，当质量块上的第一金属层与下极板质量块的第二金属层未接触时，石英微开关保持断开；当质量块上的第一金属层与下极板质量块的第二金属层接触时，石英微开关导通。该开关结构和加工工艺简单，且导通时间长、可靠性高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110045150A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910392993.4
申请日：2019-05-13
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开一种在线自检测压电加速度传感器，包括基座、第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层、敏感压电单元、驱动压电单元、惯性质量和预紧螺母；所述基座包括一个底座和底座上方一个柱形凸起，所述底座和柱形凸起为一体结构，所述柱形凸起上有螺纹；所述敏感压电单元用于将压力信号转变成电信号；所述驱动压电单元用于根据电信号发生伸缩形变；所述第一绝缘层、敏感压电单元、第二绝缘层、驱动压电单元、第三绝缘层、惯性质量和预紧螺母沿轴向依次串套在所述柱形凸起上，所述预紧螺母用于施加初始预紧压力。本发明通过在传感器内部增加了驱动压电单元，实现了加速度测量和自检测复合功能，能够在线对传感器状态进行检测与健康诊断。
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公开(公告)号：CN109473249A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811325896.5
申请日：2018-11-08
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开了具备高电磁作用力的微电磁执行器，包括永磁体和微线圈，其特征在于：所述微线圈由若干个相同的矩形铜线圈并排形成平面微线圈，每两个矩形铜线圈之间的间距均相同；所述永磁体由若干磁条拼接而成，每两个相邻磁条的磁化方向均不同。在上述微线圈的设计基础上，可以将永磁体分别设计为：1）面外多极结构；2）面内多极结构；3）基于Halbach构型的结构。相比于传统设计，本发明结构简单，微线圈生长容易，而且能大大提高电磁作用力，方便适用于更多微系统中。
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公开(公告)号：CN109254170A
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201811450018.6
申请日：2018-11-30
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/097 , G01P15/09 , G01P15/08
Abstract: 本发明的实施例公开了一种一体式石英双振梁加速度计及制备方法，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；挠性梁的上表面与质量块上表面之间的距离等于挠性梁的下表面与质量块下表面之间的距离，振梁的一端连接于装配区的上表面，另一端连接于质量块的上表面。该一体式石英双振梁加速度计一体成型，相比分体式具有结构紧凑、免装配、易加工的特点，另外采用双振梁，可以避免真空封装，在使用中更加稳定可靠，挠性梁位于质量块上下表面的中间，提高器件的灵敏度，挠性梁的厚度跟振梁的厚度可以不一致，增加了设计的自由度。
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公开(公告)号：CN108362910A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810137325.2
申请日：2018-02-10
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开一种开环微加速度计。该开环微加速度计的敏感结构等效电路包括上极板、下极板、可动机构和校正电容，上极板通过第一开关与电源正极相连并通过第二开关与负反馈网络连接；下极板通过第三开关与电源负极相连并通过第四开关与负反馈网络连接；校正电容的两个电容补偿阵列串联，第一电容补偿阵列的上极板通过第五开关与负反馈网络连接并通过第六开关与电源正极相连；第二电容补偿阵列的下极板通过第七开关与负反馈网络连接并通过第八开关与电源负极相连。本发明通过改变校正电容与敏感结构和后续处理电路的连接关系，可以省去输出前数字化非线性拟合补偿环节，降低硬件开销，同时避免生产时需要非线性校正导致效率低和成本高的问题。
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公开(公告)号：CN105352634B
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201510868073.7
申请日：2015-12-02
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种集成压电式万向冲击传感器及其压电敏感元件的制造方法，涉及传感器技术领域。本发明包括质量块和压电敏感元件，所述压电敏感元件上设置有Z轴轴向压力敏感输出电极对、Y轴轴向压力敏感输出电极对、X轴轴向压力敏感输出电极对和质量块焊接电极；所述质量块通过质量块焊接电极焊接在压电敏感元件顶部；本发明采用新型的集成结构模型，将Z轴压缩式感应输出与X、Y轴剪切感应输出集成一体，通过后续的分区极化，实现了X、Y及Z轴的敏感输出，技术得到了较大的革新改进。
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