公开(公告)号：CN120057545A

公开(公告)日：2025-05-30

申请号：CN202311614330.5

申请日：2023-11-29

Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

Inventor： 陈懿尧 ,  刘宏伟 ,  冯加贵 ,  李智 ,  张永红

IPC: B65G47/22 ,  B65G51/36 ,  B65G51/04

Abstract: 本发明公开了一种样品托、转移装置以及真空互联系统，所述真空互联系统包括：样品托，包括托盘以及锁定机构，所述托盘的顶面设有样品槽，所述锁定机构包括压爪，所述压爪转动安装于所述托盘上并用于抵紧放置于所述样品槽内的样品的顶面；转移装置，包括抵接杆以及用于承载样品的承载机构，所述转移装置用于将样品转移至所述样品槽内；其中，在第一状态下，所述抵接杆与压爪相分离；在第二状态下，所述抵接杆与压爪相抵接，且所述压爪于所述样品槽的底面所在的平面的投影与所述样品槽的底面相分离。本发明的真空互联系统能够起到将样品转移至样品托上，并稳定夹持样品的作用。

公开(公告)号：CN117166060A

公开(公告)日：2023-12-05

申请号：CN202311151459.7

申请日：2023-09-07

Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

Inventor： 张亚宾 ,  王利 ,  魏伟 ,  孔亚萍 ,  刘宏伟 ,  凌小伦 ,  张珽

IPC: C30B29/38 ,  C30B25/18 ,  C30B25/16 ,  C30B25/14 ,  C23C14/02 ,  C23C14/30

Abstract: 本申请公开了一种制备过渡金属氮化物单晶的方法及过渡金属氮化物单晶，方法包括：将衬底清洗、干燥；对衬底进行除气和真空退火，衬底表面出现原子级台阶；将衬底传递至生长台上，控制所述生长台升温至第二温度；控制生长台旋转，对所述衬底表面进行氮化处理；氮化处理完成后，蒸发过渡金属并将蒸气导入所述生长腔中，开始在所述衬底表面生长过渡金属氮化物；生长完成后，对过渡金属氮化物进行修复处理，修复处理完成后，降至室温，得到过渡金属氮化物单晶。本申请通过在超高真空条件下处理得到具有原子级台阶的衬底，之后利用氮等离子体发生装置结合电子束蒸发在分子束外延设备中制备高熔点的过渡金属氮化物单晶。

公开(公告)号：CN113655241A

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN202110956472.4

申请日：2021-08-19

Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

Inventor： 龚忠苗 ,  李浩 ,  陈志敏 ,  刘宏伟 ,  崔义

IPC: G01Q60/18 ,  G01Q30/20 ,  G01Q30/16 ,  G01Q30/18

Abstract: 本发明公开了一种对接传样装置，用以与真空型扫描近场光学显微镜对接并进行传样，该装置包括：转接腔体，与所述真空型扫描近场光学显微镜的真空腔连通，并可与所述真空腔一同被抽至真空；真空转移仓，与所述转接腔体相匹配，用于将样品从另一真空环境或气氛保护下转移至所述转接腔体内，并在样品转移至所述转接腔体后与所述转接腔体密封连接；传样杆，与所述转接腔体连接，所述传样杆的前端设置有用于抓取样品的抓取头，所述抓取头用于伸入所述转接腔体内，并在所述真空转移仓打开后抓取样品，并将样品转移至所述真空腔内的样品台上。本发明具有结构简单、操作方便、通用性强、成本低的优点。

公开(公告)号：CN221999951U

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202420454863.5

申请日：2024-03-08

Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

Inventor： 刘宏伟 ,  陈懿尧 ,  徐轶君

IPC: B01L9/00

Abstract: 本实用新型公开了一种样品托，其包括托盘、多个压片和对位槽；所述托盘上设有多个用于放置样品的样品槽；多个压片设于所述托盘上，每个所述样品槽至少对应设有一个所述压片，所述压片用于限制所述样品槽中的样品移动；对位槽设于所述托盘上，所述对位槽具有沿预定方向直线延伸的槽边。本实用新型提供的样品托，通过在托盘上设置多个样品槽，多样品槽设计允许同时放置多个样品，显著提高加工效率，并减少因重复操作而导致的误差；压片的可调节设计和对位槽的精确对准功能，确保样品在加工过程中的稳定性和一致性，从而提高加工质量。

公开(公告)号：CN221445902U

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202323059596.6

申请日：2023-11-13

Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

Inventor： 许蕾蕾 ,  黄增立 ,  刘宏伟 ,  张亚宾 ,  翁雪霏 ,  张珽

IPC: G01N23/2204 ,  G01N23/2251

Abstract: 本实用新型公开了一种样品底座，包括环形板、支撑板、固定杆以及水平限位板。环形板设置在支撑板的上方，与支撑板共同形成有容纳腔，样品放置于容纳腔内。固定杆的一端设置于支撑板的底部，固定杆的另一端用以固定于真空互联扫描电镜的位移台上。水平限位板设置于固定杆上。当固定杆固定于位移台上时，水平限位板与位移台压接以控制样品底座与位移台之间的夹角，保证后续检测时对样品托内待测样品的检测精确度。通过环形板放置样品托，通过水平限位板限制样品底座与真空互联扫描电镜位移台间的平行关系，提高检测的准确性，并且节省样品底座的安装时间，保证传样以及检测效率。